国产光刻工厂新思路？是真的吗？目前进展如何?
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从目前的信息来看，物理原理没有问题。
中国科学院高能物理研究所建设的高能同步光源也确实存在。
他们网页上的介绍( HEPS (ihep.ac.cn) )：高能同步辐射光源（High Energy Photon Source, 简称HEPS）是《国家重大科技基础设施建设“十三五”规划》优先布局的十个重大科技基础设施之一，储存环能量为6GeV、发射度小于60pm·rad。
由中国科学院高能物理研究所承建。
HEPS位于北京怀柔科学城北部核心区，距北京首都国际机场约45km，2019年6月开工建设。
作为亚洲首个第四代同步辐射光源，也是中国第一个高能量的同步辐射光源，HEPS的建设将填补我国高能和第四代同步辐射装置的空白，为国家重大科技任务开展、工业核心能力提升、基础前沿科学发展提供先进的实验平台和基础条件支撑，是推动我国同步辐射装置达到世界先进水平的重要举措。
HEPS作为一个国家建设的大科学装置，是面向国内外用户的开放的公共研究平台，对于非商业研究均免费使用。
HEPS共有48个高低beta交错的直线节。
一期建设14条光束线站提供用户使用，2024年初陆续开始带光调试，2025年将试运行。
HEPS建筑今年交付使用，全面进入设备安装阶段。
就算从上面来看，也至少 2025才能验证。
而且，用这个光来做光刻，也是只是理论可以，所以现在还需要理论验证，理论验证离最终的商业化还有好多步。
所以还是谨慎乐观吧，而且即使能做出来，也不是这几年的事情。
相比之下，有消息说28或14纳米的国产光刻机貌似已经快商业化了，如果是真的，这才是对 ASML 和美国最重大的打击，这个档次的芯片用量最大，性能、成本的平衡最好，如果能全国产，ASML 的市场要缩小一大半。
编辑于 2023-09-16 13:07・IP 属地浙江真诚赞赏，手留余香赞赏还没有人赞赏，快来当第一个赞赏的人吧！赞同 564 条评论分享收藏喜欢收起。
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Jadedrip - 39 个点赞 👍被审核的答案
另辟蹊径，难得在中国科研工作者身上看到这种苏式的力大砖飞思路。
原理上讲属实很牛逼了编辑于 2023-09-15 13:07・IP 属地上海赞同 391 条评论分享收藏喜欢。
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Roby - 13 个点赞 👍被审核的答案
发布于 2023-09-15 14:26・IP 属地山东赞同 13添加评论分享收藏喜欢。
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Atlantis-火蓝 - 8 个点赞 👍被审核的答案
今年6月29日以下答案的更新里我解释过了。
我国光刻机发展怎么样了？www.zhihu.com/question/355944411/answer/3008961581?utm_campaign=&utm_medium=social&utm_oi=70510331297792&utm_psn=1685843690906583040&utm_source=zhihu简而言之，理论验证阶段。
作为参考，现有的EUV光刻机光源的理论验证机是25年前左右出现的。
方法很好！但是所有的产品都要经历理论验证，实验验证，工业化验证，商业化验证四个阶段。
任何一个环节都可能遇到意想不到的瓶颈而成为死方向。
譬如达芬奇在几百年前就设计出来了潜水艇，但是当时没有能抗住水压的材料所以几百年后才有真正的潜艇。
人工智能的数学模型五六十年前就提出了，相关的理论层出不穷。
直到半导体产业发展到今天，GPU性能达到了才有chatGPT。
目前最稳妥，最安全的路线还是复刻现有技术路线。
因为已经被证明此路可行，这已经能避免很多坑，只有工程难题没有那么多不确定性。
新技术路线当然可以期待，如果能成当然皆大欢喜，不过我建议大家不要抱有太高期望。
因为这条路其实更难！如果真的实现，那么不仅证明中国有仿制能力，更证明中国创新能力超过美国！当然好，只是我胆子小，比较保守，不敢想那么大。
当然，且看吧！发布于 2023-09-15 02:45・IP 属地美国赞同 81 条评论分享收藏喜欢。
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俗不可耐 - 8 个点赞 👍被审核的答案
是真的，CCTV官宣，央视新闻报道，预计高能同步辐射光源明后两年使用，确实是遥遥领先！按照报道这玩意是做综合科研的基础设施，多种用途，做光刻机光源仅仅是用途之一。
ASM不是开始向中国卖DUV了，再不卖，明年ASM就什么也卖不出去了，这玩意直接可以出任意波长的光！编辑于 2023-09-15 21:18・IP 属地辽宁赞同 82 条评论分享收藏喜欢收起。
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龙开 - 7 个点赞 👍被审核的答案
这个是清华团队做的稳态微聚束（SSMB）加速器光源，原则上利用同步辐射光源是可以用来做光刻的，详细介绍可以看看清华大学唐传祥及邓秀杰的综述文章[1]。
清华团队从2017年就开始做SSMB的相关研究，并于2021年从实验上对SSMB进行了验证[2]。
SSMB-EUV光源是可以用于光刻的，与传统EUV相比，有很多优势，但目前没有看到SSMB-EUV用于光刻的具体报道，也许正在推进当中。
参考^稳态微聚束加速器光源 https://wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486^Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching https://www.nature.com/articles/s41586-021-03203-0发布于 2023-09-15 09:07・IP 属地重庆真诚赞赏，手留余香赞赏还没有人赞赏，快来当第一个赞赏的人吧！赞同 7添加评论分享收藏喜欢收起。
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芝了 - 3 个点赞 👍被审核的答案
我觉得现在这么大肆宣传，属于是阳谋博弈。
若你不解除光刻机禁运，那么我就开始建厂了，所以 ASML 的 CEO 开始吹风了。
大概方案确实有一定成功的几率，但如果开建一下可能就在这个方向上投入几百亿和几年时间，所以风险和机会都有，目前还在博弈中。
发布于 2023-09-15 09:56・IP 属地上海赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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某故事会会长 - 3 个点赞 👍被审核的答案
感觉像是资本题材炒作，网传的是怀柔科学城，这个工程网址在这里 高能同步辐射光源，有非常详细的介绍，并不是为光刻机设计的，就是一个为了科研设计的工程。
发布于 2023-09-15 15:10・IP 属地广东赞同 3添加评论分享收藏喜欢收起。
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你的灯还亮着么 - 3 个点赞 👍被审核的答案
网上看到的一张图片，挺有意思，分享下发布于 2023-09-15 15:08・IP 属地湖北赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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画船听雨眠 - 3 个点赞 👍被审核的答案
前苏联的工业思路，牺牲局部来让达成整体效果。
发布于 2023-09-15 20:07・IP 属地重庆赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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顾安 - 3 个点赞 👍被审核的答案
中国人民真争气，从歼20到芯片突破九十年代，美国已经有了F22，四代机，被吹的天花乱坠，这个也的确是航空工业的明珠，需要各种的先进凑一起，还得有航发，而我们才是二代机，毕竟一共四代落后两代，这个完全没法想象，普遍军迷都在考虑怎么用歼8对付F22，答案很悲观但是苏东的巨大变化引发了一系列的多米诺骨牌，其中一张就是让我们有活得苏系先进战机苏27，进入新世纪从歼10开始，进入快车道，终于2011歼20首飞，真是争气机，但是有些缺憾是航发问题没实现国产，但是几年下来，太行真争气，也解决这个问题了航空发动机、燃气轮机、LNG船、工业机器人，一个个的工业皇冠上的明珠被攻克，因为某大国具备全产业链，全球半数以上产能，工业能力是第二到第二十的总和，人才也是全球其他总和，每年理工科人才毕业千万级，注意每年是千万级但是在一个芯片的领域，这个是美国能控制的最后几块压舱石，芯片是个巨型产业链，美国设计，台湾制造，荷兰组装生产芯片的工具光刻机，经过多年技术沉淀，具备可怕的行业壁垒但是某大国，本着聪明人太多，工业产业链全科的强大背书，大开脑洞，用新时代的米格25，芯片领域的力大飞砖，居然用上粒子加速器，这种解决问题的思路也是亮瞎人眼睛是啊，谁说光刻机就一定要走荷兰ASML的路线呢？光刻机必须要长成大方盒子的形状，集装箱大小？我要的是1nm 5nm 7nm的结果，又不是非要仿制荷兰asml造出的光刻机主要是为了出售给全世界，那么他们就必须考虑小型化，光刻机的光源也必须小型化。
那么如果我们自己造光刻机，其实并不需要考虑这个问题，如果真的造出了能够满足各种制程的”光刻工厂”。
没错，你精度高，你百步穿杨，我直接把大炮架在箭靶上，一样命中，而且更好编辑于 2023-09-16 08:49・IP 属地北京赞同 3添加评论分享收藏喜欢收起。
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涅槃 - 2 个点赞 👍被审核的答案
当年高能物理所提议建加速器，网上一堆人跳出来反对的原因之一，就是粒子加速器的核心部件全靠进口，主要的研究学者也都是外国人，是花自己的钱为别人做嫁衣。
现在光刻机被卡脖子了，才发现原来粒子对撞机有可能会是光刻机的前置科技，再想去挖人再去发展再去做国产替代，却再也没有那个环境了，事倍功半。
总想弯道超车，总想花小钱办大事，总是不愿在基础研究上补课，越发展越是会发现处处是瓶颈，处处被卡脖子。
发布于 2023-09-15 14:55・IP 属地湖北赞同 21 条评论分享收藏喜欢。
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狼狈 - 2 个点赞 👍被审核的答案
舆论战的一部分。
估计是国内搞出这个消息讨论，目的是告诉西方，你真的锁死我，那我只能继续搞这个了，到时候搞出来，你们就没有超额利润了。
希望不战而屈人之兵。
发布于 2023-09-15 17:04・IP 属地浙江赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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F先生 - 2 个点赞 👍被审核的答案
同步辐射光源相关企业的股票起飞了。
估计下周一就能闻到新鲜韭菜味了。
发布于 2023-09-15 16:32・IP 属地山东真诚赞赏，手留余香赞赏还没有人赞赏，快来当第一个赞赏的人吧！赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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李发强 - 2 个点赞 👍被审核的答案
网上刷到这张图，这是第一代同步辐射光源，1991年建成的北京同步辐射装置（Beijing Synchrotron Radiation Facility，BSRF）。
注意右上角那个专用的光刻实验站。
也许这只是一个实验装置，但你怎么就能肯定这里不会做点相关技术的研究呢？不要以为中国的学者都是吃白饭的，只会睡大觉。
当你会设计制造光刻机的时候，紫外光源如何利用，应该不是什么大问题吧！所以，我们拭目以待，见证奇迹。
不过，我知道这“奇迹”背后实际上是很多人几十年枯燥的工作。
所有“奇迹”的真相就是，世界上没有奇迹，只有工作。
“道阻且长，行则将至”。
编辑于 2023-09-15 20:09・IP 属地江苏赞同 21 条评论分享收藏喜欢收起。
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Boris - 2 个点赞 👍被审核的答案
是个好事情，但目前处于ppt阶段，能不能成两说，先别着急开香槟。
国内在euv上是饱和式研发，什么路线的都有，能成一个就可以，没必要可这这一个薅羊毛。
不过我个人还是喜欢这个方案，帅啊！发布于 2023-09-15 19:57・IP 属地陕西赞同 21 条评论分享收藏喜欢。
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洮北队长 - 2 个点赞 👍被审核的答案
我是不懂光刻机的，我是学机械的，以机械方面做个类比！我曾经接触过一个整机：5平米内完成钢筋的取直，直径30㎜到5㎜压缩，弯折，塑型，剪切！我们就算想模仿也不行，因为我国的压缩工具方面硬度和精度都达不到。
所以只能买人家的，而且巨贵！忽然有一天人家不卖了，但是这个机器是这个行业的核心，没有东西基本属于倒闭那种！这时候就可以用其他办法了，要么用国产工具不求一次成型，进行多次拉伸以达到别人一次的精度。
（不知道类比以14纳米光刻机制造7纳米制程贴不贴切！）缺点是成品率低，废品多也就增加了成本！新思路是我拉一个五千米长度的压缩生产线，在这个压缩线上产生30㎜到5㎜任意直径的钢材，甚至能到达5㎜以下。
然后在这个压缩生产线上嫁接弯折和剪切工艺，这样不仅可以完成5㎜的加工，其他直径的钢材也可以加工！我理解是这样，光刻机这样的工业皇冠当然不会这么容易，但思路上是没问题的。
而且这样连我这样普通人都能听到的消息，有可能是一种阳谋！第一，本来能一棒子整死我的计谋，没能整死我，要么你再想招，要是真让我把这条路闯出来，你的生意就该我抢了。
这时候就该撤销制裁，以自己成熟的工艺和产品充斥市场，进行降价倾销，以打击未成形的工艺。
以此传达信息：你继续研究，但市场上不缺你这样的产品，你的投资很可能打水漂，不妨你继续买我的。
这样的情形也是我们乐见的，因为就算研究成功也可能要几年，而这几年的需求也是刚需。
不过我感觉经过这几年的斗争，应该不会天真的放弃这条路线，两手都要抓，两手都要硬。
第二，美国的制裁并不符合盟友的利益，之所以跟随一是因为怕，二是因为自信有用，自己流点血是为了吃肉。
一但自己流血却没有利益，内部矛盾就会爆发！这条路线可以说前途是光明的，道路是曲折的！发布于 2023-09-15 21:24・IP 属地山东赞同 2添加评论分享收藏喜欢收起。
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醉里挑灯看剑 - 2 个点赞 👍被审核的答案
我越来越觉得，兔子更像是一个超大型的科技工业集团巨头，大过世界上所有的科工巨头。
可以不计成本的投入远超一般跨国企业公司的科研成本，去探索所有可能的发展路线，补齐所有的科工短板。
编辑于 2023-09-16 13:23・IP 属地重庆赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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YYY666 - 1 个点赞 👍被审核的答案
众所周知，光具有波粒二象性，他们波特大，我们力（粒）更强发布于 2023-09-15 08:28・IP 属地福建赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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爱平底锅的灰太狼 - 1 个点赞 👍被审核的答案
有点离谱，希望是真的发布于 2023-09-15 08:23・IP 属地山东赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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山止川行 - 1 个点赞 👍被审核的答案
关于国产光刻工厂的新思路，目前有一些相关的报道和说法。
有消息称，国内光刻机制造商已经成功研发出具备领先技术的全新光刻机，这些设备具有高精度、高效率的特点，并采用了创新性的微纳米级控制技术。
还有一些消息称，国内光刻机制造商正在探索电子束光刻、纳米压印和DSA光刻等新方向，这些都是国际器件与系统路线图中总结的新技术方向。
然而，关于这些新思路是否真实以及目前进展如何，并没有确切的官方报道或消息，还需要更多的信息或官方公告来确认。
而且即使这些新思路存在，也需要经过实际验证和商业化应用才能真正实现。
炒股开户在哪个证券公司好？4 赞同 · 4 评论回答发布于 2023-09-15 17:02・IP 属地四川赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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金融圈Niki - 1 个点赞 👍被审核的答案
看了一圈，大概明白了。
ASML的解决方案是给想取暖的人卖家庭用燃气热水炉！用过的都知道，这玩意小型化之后，输出想要稳定就挺难的。
那水温随着季节的不同，真就忽上忽下，毕竟烧水量和功率在那，在这个基础上想要稳定输出可预期温度的热水，这套系统需要做的相当复杂，单位成本自然也就上去了，螺蛳壳里做道场！SSMB就不一样了，集！中！供！暖！你就说要多少度的热水吧，偏差0.1度算我输，有丁点波动算我输。
大规模肯定就意味着稳定输出，光刻要求的就是精确和稳定。
至于卖机器... ... 我们辣么大一个市场先满足了再说！至于其他的配套产业链，貌似都有可喜的进展，今年真是玄幻！发布于 2023-09-15 17:56・IP 属地北京赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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黑漆茶壶 - 1 个点赞 👍被审核的答案
抖音门槛太低，属实解释不清了，一群犟种，几nm工艺说的是啥都分不清，我相信知乎还是有大佬的，还是有门槛的。
欢迎各个领域一起讨论互相学习，不接受犟种。
中间废话太多可以直接看最后一段清华搞的这个加速器(光学领域不太了解)假设它可以产生满足EUV光刻机需要的光源，而且其余透镜组 机械臂 涂胶机台等均已经国产化，那就按他说的，在一二百米周长的圆圈上分离出合适光源，那一个圆上不同的位置，光源也不一样能量波长嘛的，就按最好的情况，A点分离出13nm光源，用作EUV；B点分离出几百nm光源用作DUV/I Line，那这一个圈最多六台光刻机。
工艺的一步photo解决了！(可喜可贺有了突破），后面的制程呢，蚀刻用什么设备？锛凿斧锯吗？北方华创好像还不支持先进制程的设备吧。
假设设备问题都解决了，可以盖fab了，那问题来了，fab肯定要围绕这个圈去盖，5nm了，洁净室等级肯定不能低了，其他的机台怎么摆放？需要以加速器为中心去盖fab，假设十几二十个加速器放在一块盖成一个fab，四五十台光刻机，满载时每月10w＋片，看上去很成功，但是单独那个圆圈占地大概需要96亩地，再算上其他配套的机台呢？再算上工程师办公区呢？土地问题解决了，那每月的用电量呢？需要的工人呢？假设这都不是问题，工艺中是有Qtime的，不同的layer需要的光刻机器不一样，这么大的面积，时间怎么卡控？引入智能系统大数据计算分析，天车不间断运行保住了时间，那么我们的芯片就可以流片了，国产EUV光刻机正式投入量产 。
那我们来算一下，从那个圈的蓝图开始，到建成调试出合适的光源需要几年，fab搭建到环境合适需要几年？工人从第一片wafer下线到能够量产需要多久？量产到良率达标需要多久？一切都做好了，某些大厂1nm估计都成熟制程了。
总结下，实验室鼓捣鼓捣可以，扯扯淡还是好的，实际搞起来难度很大，不能有一个光源方案就觉得万事大吉了。
工业制造业道阻且长，允许弯道超车，也别忘了理论结合实际，也希望有一天五星红旗会盖过星条旗，努力为半导体事业添砖加瓦发布于 2023-09-16 02:54・IP 属地上海赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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青衣醉伊情 - 1 个点赞 👍被审核的答案
首先，我国并不是不造光刻机直接造光刻厂，而是多条腿走路，各种模式的光刻机同样都在研发制造过程中，已经投入天量资金，并且已经研发出不少成果的国产光刻机说立刻放弃，还是有点小孩子过家家的想法。
其次，光刻厂还在建造阶段，建造完成之后需要调试，测试，进行大规模试验，最后进行技术验证，验证完成后还要编写各类准则规范。
需要芯片设计厂家和光刻厂一起亲密协作，克服各项困难，才有可能彻底取代光刻机。
光刻厂如果成功，那么芯片白菜价是很有可能的，这将大幅度提高社会生产力，造福全人类。
即使不成功，也是积累的相当的技术，等将来科技逐渐进步，终究是会实现的。
事实证明，只要中国人内部不瞎折腾，是一定会取得胜利的。
凭什么昂撒匪邦烧杀掠夺，坏事做尽，凭借几张绿纸就可以买到任何物美廉价的东西。
凭什么我们996007加班加点，却过的猪狗不如，35岁之后连工作都丢了？北溪二号谁炸的？中东谁搞乱的？新冠病毒谁发明的？以为芯片就是封锁中国的两颗质子，没有光刻机中国就不发展了？物理学就不存在了？《三体》看多了吧…还是那句老话，dota来比喻的话，兔子就是幽鬼，抗美援朝和两弹一星，让兔子打出了假腿刃甲，从此以后你抓幽鬼就有了忌惮。
2008年的兔子，就像刚憋了3800的幽鬼，为了卷轴钱，不得不打野带线让了二塔。
2023年的兔子是出了辉耀散失的幽鬼，尽管还需要龙心分身斧蝴蝶，但是打团已经不虚了，这就是你我他努力工作（内卷）的成果，这就是如今遥遥领先的底气！你问我将来谁会赢，我大声的告诉你，幽鬼逆天！发布于 2023-09-16 11:27・IP 属地黑龙江赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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浩然 - 0 个点赞 👍被审核的答案
一眼假发布于 2023-09-15 01:10・IP 属地四川赞同1 条评论分享收藏喜欢。
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姜修 - 0 个点赞 👍被审核的答案
昨天我刷抖音突然刷到了大量光刻工厂的科普视频，铺天盖地，于是今天上午摸鱼搜了半天消息了，还是摸不着头脑。
我去了解了一点基础知识。
1、国内芯片厂号称可以量产多少nm的芯片，其实只是说可以实现这个工艺，不代表他就是用的国产设备2、国内目前国产最新光刻机精度是90nm，而ASML是7nm，差距巨大3、昨天网络关于光刻工厂的巨大流量，我怀疑是某种不可抗拒力4、盛传的照片以及一些视频里面的图是怀柔的高能光源项目，早就立项了，和光刻机没有关系5、光刻机瓶颈不只是光源，还有很多方面，昨天的海量科普流量，都是在揪着光源使劲薅发布于 2023-09-15 10:29・IP 属地江苏赞同添加评论分享收藏喜欢。
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今今电车 - 0 个点赞 👍被审核的答案
这是在钓鱼吗发布于 2023-09-15 10:06・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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Scold - 0 个点赞 👍被审核的答案
假的，ssmb去年就炒作了，只是在雄安新区建设了个粒子极速器实验装置，距离光刻差远呢！倒是传统激光打锡靶听说有突破，但距离光刻机还有太多的问题要解决，最快也得两三年。
发布于 2023-09-15 09:14・IP 属地河北赞同添加评论分享收藏喜欢。
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清纯小浪女 - 0 个点赞 👍被审核的答案
最近这消息纷纷扰扰的，眼花缭乱。
光刻工厂的思路当然是好的，但目前明显还不到量产阶段，（甚至可以说刚刚处于技术验证阶段或工程验证阶段）那么有一个重要的问题大家忽略了。
那就是——目前正在大量出货的mate60Pro的芯片，到底是谁生产的？（这可是量产）消息很多，但是都没有石锤。
不得不说保密工作做的真好。
不知道25号的发布会能不能解惑。
也有可能这在未来若干年都是一个谜……发布于 2023-09-15 15:36・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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Simon Xu - 0 个点赞 👍被审核的答案
不知真假发布于 2023-09-15 14:58・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢收起。
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鲜艳的红领巾