国产光刻工厂新思路?是真的吗?目前进展如何?
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从目前的信息来看,物理原理没有问题。
中国科学院高能物理研究所建设的高能同步光源也确实存在。
他们网页上的介绍( HEPS (ihep.ac.cn) ):高能同步辐射光源(High Energy Photon Source, 简称HEPS)是《国家重大科技基础设施建设“十三五”规划》优先布局的十个重大科技基础设施之一,储存环能量为6GeV、发射度小于60pm·rad。
由中国科学院高能物理研究所承建。
HEPS位于北京怀柔科学城北部核心区,距北京首都国际机场约45km,2019年6月开工建设。
作为亚洲首个第四代同步辐射光源,也是中国第一个高能量的同步辐射光源,HEPS的建设将填补我国高能和第四代同步辐射装置的空白,为国家重大科技任务开展、工业核心能力提升、基础前沿科学发展提供先进的实验平台和基础条件支撑,是推动我国同步辐射装置达到世界先进水平的重要举措。
HEPS作为一个国家建设的大科学装置,是面向国内外用户的开放的公共研究平台,对于非商业研究均免费使用。
HEPS共有48个高低beta交错的直线节。
一期建设14条光束线站提供用户使用,2024年初陆续开始带光调试,2025年将试运行。
HEPS建筑今年交付使用,全面进入设备安装阶段。
就算从上面来看,也至少 2025才能验证。
而且,用这个光来做光刻,也是只是理论可以,所以现在还需要理论验证,理论验证离最终的商业化还有好多步。
所以还是谨慎乐观吧,而且即使能做出来,也不是这几年的事情。
相比之下,有消息说28或14纳米的国产光刻机貌似已经快商业化了,如果是真的,这才是对 ASML 和美国最重大的打击,这个档次的芯片用量最大,性能、成本的平衡最好,如果能全国产,ASML 的市场要缩小一大半。
编辑于 2023-09-16 13:07・IP 属地浙江真诚赞赏,手留余香赞赏还没有人赞赏,快来当第一个赞赏的人吧!赞同 564 条评论分享收藏喜欢收起。
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Jadedrip - 39 个点赞 👍被审核的答案
另辟蹊径,难得在中国科研工作者身上看到这种苏式的力大砖飞思路。
原理上讲属实很牛逼了编辑于 2023-09-15 13:07・IP 属地上海赞同 391 条评论分享收藏喜欢。
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Roby - 13 个点赞 👍被审核的答案
发布于 2023-09-15 14:26・IP 属地山东赞同 13添加评论分享收藏喜欢。
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Atlantis-火蓝 - 8 个点赞 👍被审核的答案
今年6月29日以下答案的更新里我解释过了。
我国光刻机发展怎么样了?www.zhihu.com/question/355944411/answer/3008961581?utm_campaign=&utm_medium=social&utm_oi=70510331297792&utm_psn=1685843690906583040&utm_source=zhihu简而言之,理论验证阶段。
作为参考,现有的EUV光刻机光源的理论验证机是25年前左右出现的。
方法很好!但是所有的产品都要经历理论验证,实验验证,工业化验证,商业化验证四个阶段。
任何一个环节都可能遇到意想不到的瓶颈而成为死方向。
譬如达芬奇在几百年前就设计出来了潜水艇,但是当时没有能抗住水压的材料所以几百年后才有真正的潜艇。
人工智能的数学模型五六十年前就提出了,相关的理论层出不穷。
直到半导体产业发展到今天,GPU性能达到了才有chatGPT。
目前最稳妥,最安全的路线还是复刻现有技术路线。
因为已经被证明此路可行,这已经能避免很多坑,只有工程难题没有那么多不确定性。
新技术路线当然可以期待,如果能成当然皆大欢喜,不过我建议大家不要抱有太高期望。
因为这条路其实更难!如果真的实现,那么不仅证明中国有仿制能力,更证明中国创新能力超过美国!当然好,只是我胆子小,比较保守,不敢想那么大。
当然,且看吧!发布于 2023-09-15 02:45・IP 属地美国赞同 81 条评论分享收藏喜欢。
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俗不可耐 - 8 个点赞 👍被审核的答案
是真的,CCTV官宣,央视新闻报道,预计高能同步辐射光源明后两年使用,确实是遥遥领先!按照报道这玩意是做综合科研的基础设施,多种用途,做光刻机光源仅仅是用途之一。
ASM不是开始向中国卖DUV了,再不卖,明年ASM就什么也卖不出去了,这玩意直接可以出任意波长的光!编辑于 2023-09-15 21:18・IP 属地辽宁赞同 82 条评论分享收藏喜欢收起。
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龙开 - 7 个点赞 👍被审核的答案
这个是清华团队做的稳态微聚束(SSMB)加速器光源,原则上利用同步辐射光源是可以用来做光刻的,详细介绍可以看看清华大学唐传祥及邓秀杰的综述文章[1]。
清华团队从2017年就开始做SSMB的相关研究,并于2021年从实验上对SSMB进行了验证[2]。
SSMB-EUV光源是可以用于光刻的,与传统EUV相比,有很多优势,但目前没有看到SSMB-EUV用于光刻的具体报道,也许正在推进当中。
参考^稳态微聚束加速器光源 https://wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486^Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching https://www.nature.com/articles/s41586-021-03203-0发布于 2023-09-15 09:07・IP 属地重庆真诚赞赏,手留余香赞赏还没有人赞赏,快来当第一个赞赏的人吧!赞同 7添加评论分享收藏喜欢收起。
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芝了 - 3 个点赞 👍被审核的答案
我觉得现在这么大肆宣传,属于是阳谋博弈。
若你不解除光刻机禁运,那么我就开始建厂了,所以 ASML 的 CEO 开始吹风了。
大概方案确实有一定成功的几率,但如果开建一下可能就在这个方向上投入几百亿和几年时间,所以风险和机会都有,目前还在博弈中。
发布于 2023-09-15 09:56・IP 属地上海赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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某故事会会长 - 3 个点赞 👍被审核的答案
感觉像是资本题材炒作,网传的是怀柔科学城,这个工程网址在这里 高能同步辐射光源,有非常详细的介绍,并不是为光刻机设计的,就是一个为了科研设计的工程。
发布于 2023-09-15 15:10・IP 属地广东赞同 3添加评论分享收藏喜欢收起。
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你的灯还亮着么 - 3 个点赞 👍被审核的答案
网上看到的一张图片,挺有意思,分享下发布于 2023-09-15 15:08・IP 属地湖北赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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画船听雨眠 - 3 个点赞 👍被审核的答案
前苏联的工业思路,牺牲局部来让达成整体效果。
发布于 2023-09-15 20:07・IP 属地重庆赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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顾安 - 3 个点赞 👍被审核的答案
中国人民真争气,从歼20到芯片突破九十年代,美国已经有了F22,四代机,被吹的天花乱坠,这个也的确是航空工业的明珠,需要各种的先进凑一起,还得有航发,而我们才是二代机,毕竟一共四代落后两代,这个完全没法想象,普遍军迷都在考虑怎么用歼8对付F22,答案很悲观但是苏东的巨大变化引发了一系列的多米诺骨牌,其中一张就是让我们有活得苏系先进战机苏27,进入新世纪从歼10开始,进入快车道,终于2011歼20首飞,真是争气机,但是有些缺憾是航发问题没实现国产,但是几年下来,太行真争气,也解决这个问题了航空发动机、燃气轮机、LNG船、工业机器人,一个个的工业皇冠上的明珠被攻克,因为某大国具备全产业链,全球半数以上产能,工业能力是第二到第二十的总和,人才也是全球其他总和,每年理工科人才毕业千万级,注意每年是千万级但是在一个芯片的领域,这个是美国能控制的最后几块压舱石,芯片是个巨型产业链,美国设计,台湾制造,荷兰组装生产芯片的工具光刻机,经过多年技术沉淀,具备可怕的行业壁垒但是某大国,本着聪明人太多,工业产业链全科的强大背书,大开脑洞,用新时代的米格25,芯片领域的力大飞砖,居然用上粒子加速器,这种解决问题的思路也是亮瞎人眼睛是啊,谁说光刻机就一定要走荷兰ASML的路线呢?光刻机必须要长成大方盒子的形状,集装箱大小?我要的是1nm 5nm 7nm的结果,又不是非要仿制荷兰asml造出的光刻机主要是为了出售给全世界,那么他们就必须考虑小型化,光刻机的光源也必须小型化。
那么如果我们自己造光刻机,其实并不需要考虑这个问题,如果真的造出了能够满足各种制程的”光刻工厂”。
没错,你精度高,你百步穿杨,我直接把大炮架在箭靶上,一样命中,而且更好编辑于 2023-09-16 08:49・IP 属地北京赞同 3添加评论分享收藏喜欢收起。
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涅槃 - 2 个点赞 👍被审核的答案
当年高能物理所提议建加速器,网上一堆人跳出来反对的原因之一,就是粒子加速器的核心部件全靠进口,主要的研究学者也都是外国人,是花自己的钱为别人做嫁衣。
现在光刻机被卡脖子了,才发现原来粒子对撞机有可能会是光刻机的前置科技,再想去挖人再去发展再去做国产替代,却再也没有那个环境了,事倍功半。
总想弯道超车,总想花小钱办大事,总是不愿在基础研究上补课,越发展越是会发现处处是瓶颈,处处被卡脖子。
发布于 2023-09-15 14:55・IP 属地湖北赞同 21 条评论分享收藏喜欢。
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狼狈 - 2 个点赞 👍被审核的答案
舆论战的一部分。
估计是国内搞出这个消息讨论,目的是告诉西方,你真的锁死我,那我只能继续搞这个了,到时候搞出来,你们就没有超额利润了。
希望不战而屈人之兵。
发布于 2023-09-15 17:04・IP 属地浙江赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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F先生 - 2 个点赞 👍被审核的答案
同步辐射光源相关企业的股票起飞了。
估计下周一就能闻到新鲜韭菜味了。
发布于 2023-09-15 16:32・IP 属地山东真诚赞赏,手留余香赞赏还没有人赞赏,快来当第一个赞赏的人吧!赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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李发强 - 2 个点赞 👍被审核的答案
网上刷到这张图,这是第一代同步辐射光源,1991年建成的北京同步辐射装置(Beijing Synchrotron Radiation Facility,BSRF)。
注意右上角那个专用的光刻实验站。
也许这只是一个实验装置,但你怎么就能肯定这里不会做点相关技术的研究呢?不要以为中国的学者都是吃白饭的,只会睡大觉。
当你会设计制造光刻机的时候,紫外光源如何利用,应该不是什么大问题吧!所以,我们拭目以待,见证奇迹。
不过,我知道这“奇迹”背后实际上是很多人几十年枯燥的工作。
所有“奇迹”的真相就是,世界上没有奇迹,只有工作。
“道阻且长,行则将至”。
编辑于 2023-09-15 20:09・IP 属地江苏赞同 21 条评论分享收藏喜欢收起。
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Boris - 2 个点赞 👍被审核的答案
是个好事情,但目前处于ppt阶段,能不能成两说,先别着急开香槟。
国内在euv上是饱和式研发,什么路线的都有,能成一个就可以,没必要可这这一个薅羊毛。
不过我个人还是喜欢这个方案,帅啊!发布于 2023-09-15 19:57・IP 属地陕西赞同 21 条评论分享收藏喜欢。
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洮北队长 - 2 个点赞 👍被审核的答案
我是不懂光刻机的,我是学机械的,以机械方面做个类比!我曾经接触过一个整机:5平米内完成钢筋的取直,直径30㎜到5㎜压缩,弯折,塑型,剪切!我们就算想模仿也不行,因为我国的压缩工具方面硬度和精度都达不到。
所以只能买人家的,而且巨贵!忽然有一天人家不卖了,但是这个机器是这个行业的核心,没有东西基本属于倒闭那种!这时候就可以用其他办法了,要么用国产工具不求一次成型,进行多次拉伸以达到别人一次的精度。
(不知道类比以14纳米光刻机制造7纳米制程贴不贴切!)缺点是成品率低,废品多也就增加了成本!新思路是我拉一个五千米长度的压缩生产线,在这个压缩线上产生30㎜到5㎜任意直径的钢材,甚至能到达5㎜以下。
然后在这个压缩生产线上嫁接弯折和剪切工艺,这样不仅可以完成5㎜的加工,其他直径的钢材也可以加工!我理解是这样,光刻机这样的工业皇冠当然不会这么容易,但思路上是没问题的。
而且这样连我这样普通人都能听到的消息,有可能是一种阳谋!第一,本来能一棒子整死我的计谋,没能整死我,要么你再想招,要是真让我把这条路闯出来,你的生意就该我抢了。
这时候就该撤销制裁,以自己成熟的工艺和产品充斥市场,进行降价倾销,以打击未成形的工艺。
以此传达信息:你继续研究,但市场上不缺你这样的产品,你的投资很可能打水漂,不妨你继续买我的。
这样的情形也是我们乐见的,因为就算研究成功也可能要几年,而这几年的需求也是刚需。
不过我感觉经过这几年的斗争,应该不会天真的放弃这条路线,两手都要抓,两手都要硬。
第二,美国的制裁并不符合盟友的利益,之所以跟随一是因为怕,二是因为自信有用,自己流点血是为了吃肉。
一但自己流血却没有利益,内部矛盾就会爆发!这条路线可以说前途是光明的,道路是曲折的!发布于 2023-09-15 21:24・IP 属地山东赞同 2添加评论分享收藏喜欢收起。
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醉里挑灯看剑 - 2 个点赞 👍被审核的答案
我越来越觉得,兔子更像是一个超大型的科技工业集团巨头,大过世界上所有的科工巨头。
可以不计成本的投入远超一般跨国企业公司的科研成本,去探索所有可能的发展路线,补齐所有的科工短板。
编辑于 2023-09-16 13:23・IP 属地重庆赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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YYY666 - 1 个点赞 👍被审核的答案
众所周知,光具有波粒二象性,他们波特大,我们力(粒)更强发布于 2023-09-15 08:28・IP 属地福建赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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爱平底锅的灰太狼 - 1 个点赞 👍被审核的答案
有点离谱,希望是真的发布于 2023-09-15 08:23・IP 属地山东赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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山止川行 - 1 个点赞 👍被审核的答案
关于国产光刻工厂的新思路,目前有一些相关的报道和说法。
有消息称,国内光刻机制造商已经成功研发出具备领先技术的全新光刻机,这些设备具有高精度、高效率的特点,并采用了创新性的微纳米级控制技术。
还有一些消息称,国内光刻机制造商正在探索电子束光刻、纳米压印和DSA光刻等新方向,这些都是国际器件与系统路线图中总结的新技术方向。
然而,关于这些新思路是否真实以及目前进展如何,并没有确切的官方报道或消息,还需要更多的信息或官方公告来确认。
而且即使这些新思路存在,也需要经过实际验证和商业化应用才能真正实现。
炒股开户在哪个证券公司好?4 赞同 · 4 评论回答发布于 2023-09-15 17:02・IP 属地四川赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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金融圈Niki - 1 个点赞 👍被审核的答案
看了一圈,大概明白了。
ASML的解决方案是给想取暖的人卖家庭用燃气热水炉!用过的都知道,这玩意小型化之后,输出想要稳定就挺难的。
那水温随着季节的不同,真就忽上忽下,毕竟烧水量和功率在那,在这个基础上想要稳定输出可预期温度的热水,这套系统需要做的相当复杂,单位成本自然也就上去了,螺蛳壳里做道场!SSMB就不一样了,集!中!供!暖!你就说要多少度的热水吧,偏差0.1度算我输,有丁点波动算我输。
大规模肯定就意味着稳定输出,光刻要求的就是精确和稳定。
至于卖机器... ... 我们辣么大一个市场先满足了再说!至于其他的配套产业链,貌似都有可喜的进展,今年真是玄幻!发布于 2023-09-15 17:56・IP 属地北京赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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黑漆茶壶 - 1 个点赞 👍被审核的答案
抖音门槛太低,属实解释不清了,一群犟种,几nm工艺说的是啥都分不清,我相信知乎还是有大佬的,还是有门槛的。
欢迎各个领域一起讨论互相学习,不接受犟种。
中间废话太多可以直接看最后一段清华搞的这个加速器(光学领域不太了解)假设它可以产生满足EUV光刻机需要的光源,而且其余透镜组 机械臂 涂胶机台等均已经国产化,那就按他说的,在一二百米周长的圆圈上分离出合适光源,那一个圆上不同的位置,光源也不一样能量波长嘛的,就按最好的情况,A点分离出13nm光源,用作EUV;B点分离出几百nm光源用作DUV/I Line,那这一个圈最多六台光刻机。
工艺的一步photo解决了!(可喜可贺有了突破),后面的制程呢,蚀刻用什么设备?锛凿斧锯吗?北方华创好像还不支持先进制程的设备吧。
假设设备问题都解决了,可以盖fab了,那问题来了,fab肯定要围绕这个圈去盖,5nm了,洁净室等级肯定不能低了,其他的机台怎么摆放?需要以加速器为中心去盖fab,假设十几二十个加速器放在一块盖成一个fab,四五十台光刻机,满载时每月10w+片,看上去很成功,但是单独那个圆圈占地大概需要96亩地,再算上其他配套的机台呢?再算上工程师办公区呢?土地问题解决了,那每月的用电量呢?需要的工人呢?假设这都不是问题,工艺中是有Qtime的,不同的layer需要的光刻机器不一样,这么大的面积,时间怎么卡控?引入智能系统大数据计算分析,天车不间断运行保住了时间,那么我们的芯片就可以流片了,国产EUV光刻机正式投入量产 。
那我们来算一下,从那个圈的蓝图开始,到建成调试出合适的光源需要几年,fab搭建到环境合适需要几年?工人从第一片wafer下线到能够量产需要多久?量产到良率达标需要多久?一切都做好了,某些大厂1nm估计都成熟制程了。
总结下,实验室鼓捣鼓捣可以,扯扯淡还是好的,实际搞起来难度很大,不能有一个光源方案就觉得万事大吉了。
工业制造业道阻且长,允许弯道超车,也别忘了理论结合实际,也希望有一天五星红旗会盖过星条旗,努力为半导体事业添砖加瓦发布于 2023-09-16 02:54・IP 属地上海赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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青衣醉伊情 - 1 个点赞 👍被审核的答案
首先,我国并不是不造光刻机直接造光刻厂,而是多条腿走路,各种模式的光刻机同样都在研发制造过程中,已经投入天量资金,并且已经研发出不少成果的国产光刻机说立刻放弃,还是有点小孩子过家家的想法。
其次,光刻厂还在建造阶段,建造完成之后需要调试,测试,进行大规模试验,最后进行技术验证,验证完成后还要编写各类准则规范。
需要芯片设计厂家和光刻厂一起亲密协作,克服各项困难,才有可能彻底取代光刻机。
光刻厂如果成功,那么芯片白菜价是很有可能的,这将大幅度提高社会生产力,造福全人类。
即使不成功,也是积累的相当的技术,等将来科技逐渐进步,终究是会实现的。
事实证明,只要中国人内部不瞎折腾,是一定会取得胜利的。
凭什么昂撒匪邦烧杀掠夺,坏事做尽,凭借几张绿纸就可以买到任何物美廉价的东西。
凭什么我们996007加班加点,却过的猪狗不如,35岁之后连工作都丢了?北溪二号谁炸的?中东谁搞乱的?新冠病毒谁发明的?以为芯片就是封锁中国的两颗质子,没有光刻机中国就不发展了?物理学就不存在了?《三体》看多了吧…还是那句老话,dota来比喻的话,兔子就是幽鬼,抗美援朝和两弹一星,让兔子打出了假腿刃甲,从此以后你抓幽鬼就有了忌惮。
2008年的兔子,就像刚憋了3800的幽鬼,为了卷轴钱,不得不打野带线让了二塔。
2023年的兔子是出了辉耀散失的幽鬼,尽管还需要龙心分身斧蝴蝶,但是打团已经不虚了,这就是你我他努力工作(内卷)的成果,这就是如今遥遥领先的底气!你问我将来谁会赢,我大声的告诉你,幽鬼逆天!发布于 2023-09-16 11:27・IP 属地黑龙江赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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浩然 - 0 个点赞 👍被审核的答案
一眼假发布于 2023-09-15 01:10・IP 属地四川赞同1 条评论分享收藏喜欢。
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姜修 - 0 个点赞 👍被审核的答案
昨天我刷抖音突然刷到了大量光刻工厂的科普视频,铺天盖地,于是今天上午摸鱼搜了半天消息了,还是摸不着头脑。
我去了解了一点基础知识。
1、国内芯片厂号称可以量产多少nm的芯片,其实只是说可以实现这个工艺,不代表他就是用的国产设备2、国内目前国产最新光刻机精度是90nm,而ASML是7nm,差距巨大3、昨天网络关于光刻工厂的巨大流量,我怀疑是某种不可抗拒力4、盛传的照片以及一些视频里面的图是怀柔的高能光源项目,早就立项了,和光刻机没有关系5、光刻机瓶颈不只是光源,还有很多方面,昨天的海量科普流量,都是在揪着光源使劲薅发布于 2023-09-15 10:29・IP 属地江苏赞同添加评论分享收藏喜欢。
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今今电车 - 0 个点赞 👍被审核的答案
这是在钓鱼吗发布于 2023-09-15 10:06・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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Scold - 0 个点赞 👍被审核的答案
假的,ssmb去年就炒作了,只是在雄安新区建设了个粒子极速器实验装置,距离光刻差远呢!倒是传统激光打锡靶听说有突破,但距离光刻机还有太多的问题要解决,最快也得两三年。
发布于 2023-09-15 09:14・IP 属地河北赞同添加评论分享收藏喜欢。
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清纯小浪女 - 0 个点赞 👍被审核的答案
最近这消息纷纷扰扰的,眼花缭乱。
光刻工厂的思路当然是好的,但目前明显还不到量产阶段,(甚至可以说刚刚处于技术验证阶段或工程验证阶段)那么有一个重要的问题大家忽略了。
那就是——目前正在大量出货的mate60Pro的芯片,到底是谁生产的?(这可是量产)消息很多,但是都没有石锤。
不得不说保密工作做的真好。
不知道25号的发布会能不能解惑。
也有可能这在未来若干年都是一个谜……发布于 2023-09-15 15:36・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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Simon Xu - 0 个点赞 👍被审核的答案
不知真假发布于 2023-09-15 14:58・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢收起。
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鲜艳的红领巾