国产光刻工厂新思路？是真的吗？目前进展如何?

这个是清华团队做的稳态微聚束（SSMB）加速器光源，原则上利用同步辐射光源是可以用来做光刻的，详细介绍可以看看清华大学唐传祥及邓秀杰的综述文章^[1]。

清华团队从2017年就开始做SSMB的相关研究，并于2021年从实验上对SSMB进行了验证^[2]。

SSMB-EUV光源是可以用于光刻的，与传统EUV相比，有很多优势，但目前没有看到SSMB-EUV用于光刻的具体报道，也许正在推进当中。

参考

1. ^稳态微聚束加速器光源 https://wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486
2. ^Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching https://www.nature.com/articles/s41586-021-03203-0