这个是清华团队做的稳态微聚束(SSMB)加速器光源,原则上利用同步辐射光源是可以用来做光刻的,详细介绍可以看看清华大学唐传祥及邓秀杰的综述文章[1]。
清华团队从2017年就开始做SSMB的相关研究,并于2021年从实验上对SSMB进行了验证[2]。
SSMB-EUV光源是可以用于光刻的,与传统EUV相比,有很多优势,但目前没有看到SSMB-EUV用于光刻的具体报道,也许正在推进当中。
参考
- ^稳态微聚束加速器光源 https://wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486
- ^Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching https://www.nature.com/articles/s41586-021-03203-0
发布于 2023-09-15 09:07・IP 属地重庆
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