国产光刻工厂新思路？是真的吗？目前进展如何?

是个好事情，但目前处于ppt阶段，能不能成两说，先别着急开香槟。

国内在euv上是饱和式研发，什么路线的都有，能成一个就可以，没必要可这这一个薅羊毛。

不过我个人还是喜欢这个方案，帅啊！