国产光刻工厂新思路？是真的吗？目前进展如何?

是真的，CCTV官宣，央视新闻报道，预计高能同步辐射光源明后两年使用，确实是遥遥领先！

按照报道这玩意是做综合科研的基础设施，多种用途，做光刻机光源仅仅是用途之一。

ASM不是开始向中国卖DUV了，再不卖，明年ASM就什么也卖不出去了，这玩意直接可以出任意波长的光！