对于我国目前不造光刻机了，造光刻厂，大家怎么看?
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好呀好呀，全频段光源公社，刻芯片不要钱，中国AI大跃进，遥遥领先！发布于 2023-09-17 11:20・IP 属地上海赞同添加评论分享收藏喜欢。
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虽咀龙今
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光刻厂估计就是个阳谋。
真去搞的话，成功几率比研发光刻机大，但是代价也不低，而且还面临后续技术发展后被替代的可能，最后变成荒废的工程。
但是不去推进，外国势力就不会减轻打压。
这不，荷兰某公司开始延长禁售时间了，还是有点效果的。
编辑于 2023-09-17 11:20・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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二恶非法所得
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光源只是光刻机的一个组件。
十年前，课题组老师研发高性能光刻胶，用的就是上海光源的软X线里单色分离出的13.5nm光。
所有器件全进口，不清楚现在情况怎么样了。
发布于 2023-09-17 12:19・IP 属地重庆赞同添加评论分享收藏喜欢。
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light沙
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谢邀前几天看到了这个问题，因回答过其他相似问题就没再回答这个问题，没想到现在居然有这么多人关注这个问题了，看来大家对半导体光刻技术的兴趣非常高啊，做为一名在光刻领域摸爬滚打好几年的工程师感到激动，所以这个问题必须得答一答了前几天写了几篇关于光刻技术的文章，感兴趣的朋友可以看看里面的相关概念，对下面要给的回答理解有帮助玩转光刻技术，更懂芯片制造0 赞同 · 0 评论文章芯片光刻工艺窗口该怎么分析0 赞同 · 0 评论文章好，回归要回答的问题看了清华大学老师所做的主要研究成果，所谓的SSMB技术全称steady-state micro-bunching, 也叫稳态微聚束，是种新型的粒子加速器光源。
SSMB概念并不是现在才提出的，早在2021年的时候，清华大学就有相关论文发表在了顶级期刊NATURE上。
SSMB光源潜在应用领域就是EUV光刻机，不知道为啥现在才引起这么多的广泛关注，可能跟现在华为手机mate60芯片突破技术封锁，热度高涨，引起了大家对解决芯片卡脖子技术的期待，尤其被封的死死的迟迟买不到的EUV光刻机。
不管怎样，有更多人关注问题更有利于解决问题，是件好事现在随着制程工艺的发展，也要到了摩尔定律的极限，这离不开光刻技术的发展，从比较早的365nm，248nm，193nm波长的DUV光源再到现在的13.5nm波长的EUV光源，波长越小，分辨率越高，所能曝光的尺寸就越小，带来的芯片面积和功耗就会越小，这也是为什么业内不断追求更小波长光源的原因之一SSMB技术是怎么实现13.5nm波长的光源呢？看上面图是不是像一个环形跑道？没错，它是SSMB光源技术需要的一个上百米长的EUV光刻基地。
那现在ASML光刻机多大呢？整机有如中型货车那么大。
大家体会下，我们要做的EUV光刻机就类似于一个工厂了，这么一大只想要实现销售别处难度很大，不好移动啊，所以自用的可能性比较高。
但大有大的好处，SSMB技术可以达到的功率为10千瓦，而一台ASML EUV光刻机是250瓦，SSMB EUV是ASML EUV功率的40倍，换句话说，SSMB 可以同时支撑数十台光刻机下面再来看SSMB EUV具体实现方式的另一张图清华老师文章里也提到了SSMB产生EUV波长光源的具体方案，为方便大家理解，我引用文章里的内容展示，首先用微波电子枪产生长度为百纳秒量级的电子书，产生的电子束将在一段直线加速腔中被加速到约 400 MeV, 此时的电子束是脉冲分布的, 间隔为加速所用微波的周期 (约 10 cm)；之后将这些电子束团注入到展束环中对束团进行纵向的拉伸, 使电流分布由梳状得到展平, 得到在纵向上均匀分布的准连续束团；然后将该束团从展束环引出, 注入到SSMB 主环中进行储存, 在主环中, 电子束由于激光调制器的聚束作用并在量子激发和辐射阻尼平衡下保持微聚束状态, 束长在数十纳米量级；接着该微聚束在辐射段被进一步压缩到 3 nm 左右, 实现波长 13.5 nm 的强相干辐射, 从而输出千瓦量级的EUV光源。
引用结束，下面回归讨论。
SSMB EUV这套方案可行吗？只能说原理说的通，有一定可能性，但距离真正商业量产芯片相差甚远，任重而道远，因为量产应用涉及到的方方面面上下游产业链太多内容了，EUV光源只是其中一个关键的一环而已，要结合所有因素环环相扣并用才能生产，难度相当大下面给大家来一张目前量产光刻技术通用的应用场景图简单讲就是产生的光源经过一组lens，到mask光罩之后，再经过一组lens汇聚，再曝光到wafer上，可以看到要实现光刻图案，除始发光源外，还要经过好几道流程路径才能对wafer上的光刻胶进行曝光所以SSMB EUV要想商业化应用，还有不少关键问题需要解决，比如光源能量波动精度怎么控制？光源聚焦深度怎么调节？光源耗电量怎么控制？当光源工厂故障断电时量产应急方案怎么弄？怎么进行光源日常维护？光源怎么结合与mask曝光使用？等等还有很多关键点需要考量SSMB EUV光源还只是一个起点，面临实际应用挑战非常大，希望能早日攻克难关，走向商业应用参考文献：《稳态微聚束加速器光源》，唐传祥，邓秀杰，物理学报（特邀综述），2022编辑于 2023-09-17 12:10・IP 属地上海赞同1 条评论分享收藏喜欢收起。
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芯片那些事儿
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首先我坦率承认，虽然我常被归类为“粉红”，但是我对西方的科技是心存敬畏的，一般看到一群非专业领域的自媒体山呼海啸，而官媒和专业领域企业一言不发的时候，我一般都本能的保持谨慎。
这种对他人的敬畏和对自己人的谨慎，来自于我出生年代的时代烙印，我生在改革开放之初，那是一个我们落后，但是同时有机会见到“先进”的时代。
毋庸讳言，在我成长的前30年里，我见到的一切先进产品几乎都来自西方（包括日本）。
在我成长中，我最常听到，甚至就连我自己都经常那么想的一句话是————中国永远也造不出XXXX有机会坐“好车”的时候————皇冠车就是好，中国真是永远也造不出这么好的车2G手机刚开始流行的时候————诺基亚6110就是好，中国真是永远也造不出这么好的手机第一次用笔记本电脑的时候————康柏就是牛逼，这么小一个玩意就自带了键盘和屏幕，还拥有数十倍于长城0520的性能，中国真是永远也造不出这么先进的电脑第一看在《航空知识》上看到隐形战机————F22太厉害了，这真的是人类科技可以完成的吗？恐怕中国永远也造不出这么先进的飞机同样的场景还出现在随身听、摄像机、液晶电视、民航客机、探月飞船、航母等等等等等，这些东西如果你回到从前问我，打死我都不敢相信我能在死之前看到中国用领先的科技水平与产品质量在制造这些东西我说句招骂的话，在那个年代，在科技领域，我是打心眼里相信外国人对我们有人种优势的，所以近10年来，我也是在一边惊叹一边感慨中成长，一边反思一边纠正自己的错误认知。
到了今天，有人说中国光刻机也可以追赶并超越的时候，坦率的说我仍然不受控的谨慎，但此时的我，愿意选择——相信！！！编辑于 2023-09-17 13:42・IP 属地辽宁赞同添加评论分享收藏喜欢。
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歼十粉丝
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对我国投入基于SSMB的极紫外光刻技术(EUV),我认为这是一个正确的战略方向,具有非常积极的意义:EUV是未来半导体芯片制造的关键技术,属于制程极致的光刻技术,具有极高的分辨率。
掌握EUV对我国半导体产业发展至关重要。
SSMB(折射透镜+多层膜反射镜+掩模板+光刻胶)是EUV的核心技术装备,我国已取得重大突破,具备进入国际先进行列的实力。
掌握EUV技术,可以缩小我国与国际先进水平的差距,达到世界制造强国的要求。
投入EUV研发,可以促进我国光学、材料、精密制造等多领域技术进步。
EUV技术对国防军工也有重要应用,投入EUV符合国家战略需求。
中微半导体、上光电已经取得EUV技术突破,展现出我国攀登国际科技高峰的决心和实力。
综上所述,我国投入EUV研发是一个非常正确的战略举措,既能提升产业技术水平,也能增强国防科技实力,对于实现科技进步和经济发展具有重大意义,应该给予大力支持。
发布于 2023-09-17 13:25・IP 属地湖南真诚赞赏，手留余香赞赏还没有人赞赏，快来当第一个赞赏的人吧！赞同添加评论分享收藏喜欢。
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浅瞳蔷薇
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这个技术方案是可行的，技术原理也并不是大家想象的“力大砖飞”。
相反，基于SSMB的极紫外光刻技术在技术原理上是相当先进的，并且具有向更小波长扩展的潜力。
同时这种光源实际上价格在几亿到十亿人民币之间，对比之下ASML的EUV光刻机大概1.5亿欧。
这是清华唐传祥教授写的概述：稳态微聚束加速器光源wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486可以预见，基于SSMB的EUV光刻机在建成后将毋庸置疑地成为在成本上和技术原理上都遥遥领先的光刻机。
目前应该样机正在建设中，可能主要用于原理验证。
河北清华发展研究院www.tsinghua-hb.com/artical.php?aid=1881&wd=&eqid=b66dca5500159786000000026495326c不过，项目的建设可能还需要几年的时间，让我们静候佳音。
发布于 2023-09-17 13:20・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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不吃鱼的招财猫
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感觉这个技术。
平淡无奇啊根据胡晓：加速器EUV光源装置40 赞同 · 12 评论文章 这篇文章的介绍，Ryukou Kato提出的FEL（自由电子）方案，能级800MeV，束流强度10mA，束流功率8MW，能得到9kW+的EUV功率，能效约0.1%稳态微聚束加速器光源wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486而SSMB方案呢？能级400MeV，平均流强1A，束流功率400MW，能得到1kW的EUV功率，能效约0.00025%目前中国建造的同步加速器大多是高能级、弱束流。
不知道这么高的束流强度对造价能产生多大的影响？发布于 2023-09-17 17:17・IP 属地黑龙江赞同添加评论分享收藏喜欢收起。
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广域宁静 - 0 个点赞 👍
学完超导又去研究外星人，现在又要研究光刻机，股民太难了发布于 2023-09-17 17:14・IP 属地河南赞同添加评论分享收藏喜欢。
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风语筑 - 0 个点赞 👍
新闻学不存在了发布于 2023-09-17 16:51・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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云飞飞
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大人全都要，国力上来了所有路线都能进行探索发布于 2023-09-17 20:34・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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恭喜发财
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mark编辑于 2023-09-17 23:12・IP 属地北京赞同添加评论分享收藏喜欢。
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淡然
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SSMB跟EUV不是一个东西！全是自媒体话术，让AI替大家客观回答吧先说结论：SSMB跟EUV技术是两个不同的领域：激光技术和电子束成型技术。
该论文也没有提到任何关于光刻机技术，只是在Introduction里面说是‘潜在可能’应用。
到这里大家知道怎么回事了吧。
发布于 2023-09-17 23:12・IP 属地英国赞同添加评论分享收藏喜欢收起。
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多崎作
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1. 游标卡尺不会用，读几篇吹水文章，就学会“手焊万能、人手配工具，加工精度超机床”。
.为什么中国飞机和导弹上某些零件要手工制造但新闻上播报时却很显得很骄傲？这是件好事么？其他国家也一样么？.为什么很多国家造不出高精度机床，难度在哪里？.为什么中国的机械精度不足？.机械加工中，手工和数控哪个的精度更高？.机械方向从业人员还能像老一辈人说的越老越吃香吗？2. 看到终端企业发售消费品，就庆祝“新型光刻机研发成功”。
.华为真的能绕过光刻机完成高端芯片的量产吗？.我国光刻机发展怎么样了？.国产光刻机会有怎么样市场前景？.ASML 称已向荷兰政府申请许可证获批，今年内仍可向中国出口部分高端浸润式光刻系统，哪些信息值得关注？.如何看待2023年9月，荷兰光刻机巨头阿斯麦CEO称「我们太自以为是了」，要是他看知乎还会这么认为吗？.华为麒麟 9000S 处理器为 8 核 12 线程，手机端用上超线程，对此你有哪些期待？.https://weibo.com/1773569692/NhGjRfBIm.https://weibo.com/1837234894/NhDFcxH9f.https://weibo.com/7743138032/NhEtkwOZ8.我国光刻机发展怎么样了？匿名用户.华为突破芯片制裁已经过去了两天，为什么美国还没有任何表示？.对于我国投入基于SSMB的EUV技术，大家怎么看?编辑于 2023-09-17 22:36・IP 属地新疆赞同添加评论分享收藏喜欢。
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bluerise
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“芯片厂”这个词第一次听说是在一个激动的中老年大妈的赢赢赢视频里面，这个视频毫无逻辑，出于好奇去空间看了一下，这人以前是发种花养草视频的这种氛围就很不正常，就和股灾到来前连大妈都开始炒股一样前一阵子超导lk99也差不多一样的氛围说不好听的，很多人已经出现应激反应了另外，聪明人太多了，你觉得某个东西是个好点子但没人用，可以肯定是因为这个东西有某方面的问题没法用对于光刻机，光源只是一个组件，这句话都不理解就大喊赢赢赢，光说这种话就是浪费大家的时间编辑于 2023-09-17 22:00・IP 属地北京赞同添加评论分享收藏喜欢。
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LHJOE1234567
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这只是几条euv研发道路中的一条，甚至可能还不是最快的一条，能有一条成功就好发布于 2023-09-17 21:38・IP 属地重庆赞同添加评论分享收藏喜欢。
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梦想
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感觉建厂不是这么简单，日本韩国台湾美国德国等国家，也必须得从荷兰买，我赶脚着他们也肯定不乐意买吧？卖价、维护、维修全都死贵死贵的，而且还得排队，真要能建厂或者建厂比光刻机更合适，为什么他们不早建？建厂的技术原理，并不难，清华论文里的参考文献里面，也引用了很多国外同领域的论文结果，而且本身也是和德国亥姆霍兹实验室一起联合搞出来的这么大型的工厂，感觉要考虑的方面非常多，投资回报率、良品率、维修维护、污染、用电量、成本核算、轻微地震等自然灾害的影响度、后期迭代成本等等等方面吧，反而感觉纯技术可行性的分析，是最简单的事了反正我是没研究不明白，而且超出本人知识框架认知太多了，建议让子弹飞几年再说吧发布于 2023-09-18 03:16・IP 属地天津赞同添加评论分享收藏喜欢。
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顺其自然 - 0 个点赞 👍
假定成功了，之后呢？之后应该会被垄断吧。
就看是石油烟草电力的剧本还是柳传志, xxx, xxx, xx的剧本还是挺期待的编辑于 2023-09-18 02:22・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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Luan Maxie
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舆论大跃进，先赢一波。
科技盐碱地，突然畅想起了诗与远方。
反向说明，7nm以下euv光刻的绝望处境。
发布于 2023-09-18 01:56・IP 属地上海赞同添加评论分享收藏喜欢。
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尝试记录
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额，SSMB这东西八字都还没有一撇呢，你们就想着拿来做光源了？这东西也就是刚刚走出模拟的阶段走进实验室，距离实验室宣告成功都还早呢更别说应用在工业上了。
这里给大家放一个中科院2021年发的论文，链接我放在下面，有兴趣的同学可以去看看。
通过阅读文章，其实可以发现他们只是做了一个仿真，论证以当前的技术手段是可以实现kw级的输出的。
仿真到在实验室中获得成功都还有很长的路要走。
至于工业化的应用，那就更是遥遥无期了。
至于这个技术方案是不是网友们所梦想的“Wunderwaffe”嘛，我们来看看论文的参考文献：通过查看参考文献就可以看到早在2001年就有人发表过使用同步辐射作为极紫外光刻光源的论文。
也就是说至少在22年前就已经有人提出过将同步辐射用于极紫外光刻。
此时距离AMSL拿出第一台用于研究目的的极紫外光刻机还有5年。
换句话说就是，这个方案其实并不新鲜，业界在当时必然也是讨论过的。
但是最后大家还是选择了用二氧化碳激光器轰击金属靶的方案，这是有原因的。
论文链接：https://www.nature.com/articles/s41598-022-07323-z编辑于 2023-09-18 05:08・IP 属地陕西赞同添加评论分享收藏喜欢收起。
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oh-ho
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哪怕真的落地了这也只是解决了发光源的问题距离实际生产还有十万八千里芯片制造根本就不是一个国家的产业如果单独一国来做结果只会是巨额的亏损这是个无解的问题发布于 2023-09-18 06:40・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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鸭子一只
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我只有一个建议，增加我们研究该技术的人员的安保措施。
我是不惮以最坏的恶意揣摩我们的敌人的。
发布于 2023-09-18 09:29・IP 属地新加坡赞同添加评论分享收藏喜欢。
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Stuart Wang
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本身就是无奈之举。
类似于饱和打击，芯片生产成本肯定不低。
以金钱换时间。
目前商用也就华为这个价位能用。
华为要硬撑，撑个几年，不成问题，从其他市场利润补贴手机业务亏空。
而且不知道国家对这个有没补贴。
这个意思是，你把我逼急了，社会主义优越性，集中资源办大事饱和攻击给你看看。
所以西方说我们这样做是破坏行业。
其实也确实这样，我就用老技术迭代，有市场，国际上还能抢你市场。
熬死你的新技术，就问你怕不怕。
发布于 2023-09-18 09:27・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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张三 - 0 个点赞 👍
用HEPS项目来论证SSMB-EUV“投入使用”的确很“牛逼”！发布于 2023-09-18 08:49・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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TonynGent
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快来买啊！2024年1月1日前量产一赔十万。
2025年1月1日前量产一赔一万。
2026年1月1日前量产一赔五千。
2027年1月1日前量产一赔两千。
2028年1月1日前量产一赔一千。
2030年1月1日前量产一赔五百。
2033年1月1日前量产一赔一百。
2038年1月1日前量产一赔十。
2043年1月1日前量产一赔三。
发布于 2023-09-18 08:29・IP 属地江苏赞同添加评论分享收藏喜欢。
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平津戏
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土法炼钢再现。
发布于 2023-09-18 08:21・IP 属地广东赞同添加评论分享收藏喜欢。
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车马炮
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这个应该只是光源相关的技术替代，我国差的应该是对应的光学系统，小尺度上的控制系统。
发布于 2023-09-18 11:22・IP 属地北京赞同添加评论分享收藏喜欢。
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vishnu - 0 个点赞 👍
是否可以用于芯片光刻不清楚，但是这个提问下边肯定会出现一堆外资资深芯片工程师的回答，他们的回答基本大同小异，诸如此类 : “根据我的经验，这种光刻技术应用难度很大，即使可以用也成本极高。
荷兰阿斯麦的……，更何况这种……” “芯片的复杂度有多高? 上千道手续……，需要多少资深物理化学……”上述回答是不是似曾相识? 因为2020年前后，在知乎到处嘲讽国产芯片垃圾的是他们，过分夸大外资芯片技术牛逼的也是他们。
知乎上有个在KLA供职的工程师更是对中芯国际各种嘲讽，“双非毕业硕士，被领导洗脑，拿着微薄的工资，一点物理分析不懂却在做着改变国内芯片水平的大梦……”。
但是，懂点线性拟合物理或分析就很就牛逼吗……，这种东西学几天谁能学不会呢?任何产业，最重要的不是学历，不是经历，而是要有广泛的机会提供给爱学习的年轻人，让他们去在第一线得到广泛的锻炼。
说实话，我国尖端人才流失比较严重，但是仍然能发展出不逊色于发达国家的一流产业链，原因就在于此。
智能手机/互联网是这样，汽车产业也会如此，芯片制造更会按照这个步伐大踏步前进。
或许，现在水平仍然和国外有差距，或许现在网上吹的都有水分，但是我们要相信“人的力量，往往是最重要的”。
编辑于 2023-09-18 12:05・IP 属地新加坡赞同添加评论分享收藏喜欢。
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落云
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饱和式攻坚是最可怕的发布于 2023-09-18 13:45・IP 属地河南赞同添加评论分享收藏喜欢。
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無心飛翔
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SSMB，估计名副其实吧发布于 2023-09-18 13:33・IP 属地新加坡赞同添加评论分享收藏喜欢。
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hahaha