光源只是光刻机的一个组件。十年前,课题组老师研发高性能光刻胶,用的就是上海光源的软X线里单色分离出的13.5nm光。所有器件全进口,不清楚现在情况怎么样了。 发布于 2023-09-17 12:19・IP 属地重庆 赞同添加评论分享 收藏喜欢