额，SSMB这东西八字都还没有一撇呢，你们就想着拿来做光源了？
这东西也就是刚刚走出模拟的阶段走进实验室，距离实验室宣告成功都还早呢更别说应用在工业上了。
这里给大家放一个中科院2021年发的论文，链接我放在下面，有兴趣的同学可以去看看。通过阅读文章，其实可以发现他们只是做了一个仿真，论证以当前的技术手段是可以实现kw级的输出的。仿真到在实验室中获得成功都还有很长的路要走。至于工业化的应用，那就更是遥遥无期了。
至于这个技术方案是不是网友们所梦想的“Wunderwaffe”嘛，我们来看看论文的参考文献：
通过查看参考文献就可以看到早在2001年就有人发表过使用同步辐射作为极紫外光刻光源的论文。也就是说至少在22年前就已经有人提出过将同步辐射用于极紫外光刻。此时距离AMSL拿出第一台用于研究目的的极紫外光刻机还有5年。换句话说就是，这个方案其实并不新鲜，业界在当时必然也是讨论过的。但是最后大家还是选择了用二氧化碳激光器轰击金属靶的方案，这是有原因的。
论文链接：
编辑于 2023-09-18 05:08・IP 属地陕西