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对于我国目前不造光刻机了,造光刻厂,大家怎么看?

感觉怪怪的

感觉这个技术。。。。。。平淡无奇啊

根据

这篇文章的介绍,Ryukou Kato提出的FEL(自由电子)方案,能级800MeV,束流强度10mA,束流功率8MW,能得到9kW+的EUV功率,能效约0.1%

而SSMB方案呢?

能级400MeV,平均流强1A,束流功率400MW,能得到1kW的EUV功率,能效约0.00025%

目前中国建造的同步加速器大多是高能级、弱束流。不知道这么高的束流强度对造价能产生多大的影响?

发布于 2023-09-17 17:17・IP 属地黑龙江
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