对于我国目前不造光刻机了，造光刻厂，大家怎么看?

这个技术方案是可行的，技术原理也并不是大家想象的“力大砖飞”。相反，基于SSMB的极紫外光刻技术在技术原理上是相当先进的，并且具有向更小波长扩展的潜力。同时这种光源实际上价格在几亿到十亿人民币之间，对比之下ASML的EUV光刻机大概1.5亿欧。

这是清华唐传祥教授写的概述：

稳态微聚束加速器光源​wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486

可以预见，基于SSMB的EUV光刻机在建成后将毋庸置疑地成为在成本上和技术原理上都遥遥领先的光刻机。目前应该样机正在建设中，可能主要用于原理验证。

不过，项目的建设可能还需要几年的时间，让我们静候佳音。