对于我国目前不造光刻机了，造光刻厂，大家怎么看?
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就喜欢听一堆连同步辐射装置都没用过的人大吹特吹且听龙吟。
短期内没有商业化的可能，长期来看可以作为一条技术路线进行探索性尝试。
比起这个我更期待怀柔的四代同步辐射快点建成，省的做个成像还要天天跑合肥和上海。
编辑于 2023-09-18 11:32・IP 属地北京赞同 4添加评论分享收藏喜欢。
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戴哲昊
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通向芯片制作山顶的道路，绝非只有像阿斯麦那样做光刻机的一条。
这应该是基本的常识问题。
我相信这一定能够成功。
而且极有可能在2024年就取得了完全的成功。
到时候中美科技战的战争基本就结束了。
胜利属于中国，属于全体中国人民。
发布于 2023-09-16 07:16・IP 属地北京赞同 3添加评论分享收藏喜欢。
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空气流通防疫技术
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声明：本人非核物理或光刻领域人士我依稀记得前两年我跟我爹讨论国产光刻机的未来，我当时是持悲观态度的，EUV光刻机的确对得起工业明珠这四个字。
对于一个需要全球几乎所有发达国家都通力协作才能做出来的东西，我真的非常绝望。
我跟我爹说比起自己造光刻机，或许多造几艘航母去荷兰抢光刻机更靠谱一些。
现在想想惭愧啊，我居然也有这么入关学上脑的时候。
相比之下，我爹真的比我乐观许多，他说咱为啥一定要走西方人的技术路线？咱中国一直以来都有另辟蹊径，弯道超车的传统。
之前氢弹搞不出来，于敏院士换了个思路不就搞出来了？开动国家机器，倾全国之力寻求创新方法，一定能走出属于中国自己的路线。
现在看来。
我爹说的没错。
我也不禁开始反思，人类历史上很多穷尽一代人都难以攻克的科学难题，很多都是不经意间转换了一下思路，就打开了新世界的大门。
比方说当年人类基因组计划步履蹒跚的时候，鸟枪法横空出世，极大地提升了计划的进度。
发布于 2023-09-16 21:43・IP 属地江苏赞同 3添加评论分享收藏喜欢收起。
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check
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看到很多人说成本问题。
这么说吧，要是国家允许特批直接成立上市公司上市，SSMB团队去A股融资，市场化搞中国自己的光刻厂。
你猜市场是拉爆还是融不到钱？我觉得区区几十亿，股民挥舞着钞票都抢不到才是……编辑于 2023-09-17 20:34・IP 属地北京赞同 32 条评论分享收藏喜欢。
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魏俊年
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垫烈祝贺清华SSMB光刻厂早日落成投产，最好来南宁，我们五象总部基地以准备万全而待客光临！另外我正在用放大镜加过滤镜在搜索“光刻厂”概念股，知道的知友告诉我必用华为Mate 60 Pro＋相送！发布于 2023-09-16 10:30・IP 属地湖南赞同 22 条评论分享收藏喜欢。
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南宁二哥
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在商业上，这个EUV光源最终大规模应用于集成电路光刻的概率很低。
不是说这个技术路线行不通，而是在于这种技术如果要大规模商用，将完全颠覆最近40年形成的芯片生产的根本特征。
很多人说这恰恰是我们弯道超车的机会，但是必须意识到的是，当下中国所有的芯片产能也是全部以全球通用的模式来运行的。
要打碎的旧世界也包括我们自己。
而更为重要的是，很多人想当然的认为，国产光刻机仅仅卡在了光源这一环。
事实上是，在光刻机最核心的镜头，控制系统，光源，以及相对辅助的光刻胶，掩膜版等技术上，国产技术都还有很长的路要走。
要知道，上海微电子原定2021年就要交付的28nmDUV光刻机至今难产。
困扰我们的远不仅仅是光源。
更不用说，这种新的光刻厂模式带来更多的新的问题：洁净室布局和运行的全面再定义，其他七大芯片工艺设备在新模式下和光刻机的合作方式，以及这种光刻机集中化带来的产业链的全新定义。
在我看来，这些延伸出来的问题的解决没有一个会比EUV光源的研发更简单。
有这功夫，我不相信我们依然无法在现有技术路线下，解决光刻机的光源问题。
所以，这个EUV光源，更多给我们带来的，是多了一个博弈筹码。
这给了ASML一个警告，做人留一线，不要太过分，我们有鱼死网破的能力。
虽然，真走到这一步对于所有人都很不经济。
发布于 2023-09-18 11:07・IP 属地上海赞同 21 条评论分享收藏喜欢。
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关中中年刀客
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ssmb和光刻机的关系很大，渊源很深。
在1990年，杨振宁就独具慧眼，建议中国研制X射线自由电子激光器。
现如今，世界上第一座工作在20—100nm范围的全相干自由电子激光装置已经投入使用。
杨振宁先生在石溪分校的博士研究生研究生赵午教授，早在2010年就首次提出了SSMB理论概念，并以论文形式发表在了美国顶级期刊《物理评论快报》上。
这是一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB）这项理论被视为超越EUV光刻机技术和专利限制，并且极富未来前景的设计。
按照这样的方式，SSMB搞定EUV还是顺手为之，以后的作用更大。
其实，在2016年，大型对撞机论战最高峰时期，赵午教授就被杨振宁先生邀请，来到清华大学担任了客座教授，那时候他们就敏锐地研究出：EUV光刻机有短板，中国需要超越，根本不能只走跟随路线。
必须确保多线并行研制。
杨振宁自2017年起向清华多次推荐稳态徽聚束团队的建立与研发，并且与赵午教授取得了合作。
在2021年2月，清华大学工程物理系与德国的科研小组的 SSMB的首个原理性验证实现。
而著名的科技刊物《Nature》 杂志对此点评称：SSMB光源未来有希望运用EUV光刻、角分辨光子能谱等领域。
”什么意思呢？中国利用加速器的原理，解决了EUV光源问题，并且解决了EUV光刻机未来十年遇到的瓶颈限制！要知道，2019年完成了第一期试验时，科学界还在继续讨论要不要建造大型粒子对撞机。
而2021年完成第二期试验的时候，华为已经开始了更加深入的芯片产业链进程。
两者关系不大，但是却又关联很深。
可以肯定的是，2019年5月这个时间节点上，杨振宁先生的布局起到决心性胜利的一棋。
受到杨振宁先生指导和影响的赵午，以及清华大学的团队最终推出了SSMB方案，实际上还是只是冰山一角。
发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》论文的唐传祥教授指出，EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。
发布于 2023-09-18 16:28・IP 属地北京真诚赞赏，手留余香赞赏还没有人赞赏，快来当第一个赞赏的人吧！赞同 2添加评论分享收藏喜欢收起。
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老韩生存狂
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十年内没戏，如果你认真看那篇论文的话。
清华大学仅仅只是在实验室里验证了二阶驻波的可行性，实际上要产生13.5nm的euv需要79阶的驻波，这几乎是难以实现的。
这对于仪器在空间上的排布精度和控制精度而言是极其变态的。
现阶段国家能够在五年内实现第一次验证性出光就已经是奇迹了。
工程化应该会更久。
我一直认为一个人或者集体想要确实的改变自身的境遇，第一件事情就是要清楚的了解并且承认自身的处境。
吹牛逼对实验成功没有一点好处。
发布于 2023-09-18 23:51・IP 属地美国赞同 22 条评论分享收藏喜欢。
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夏天
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16号一看到这个问题，我特么想都不用想，这个时间点就是有人在故意造沸腾文。
18号这个机器的正主中国电子院辟谣。
其实就是一个微信公众号发了条消息ssmb可以产生极紫光，然后转NGA说“哦极紫光啊，我知道啊，ASML刻芯片就是用的极紫光。
我的七舅姥爷说ASML是为了能卖光刻机，才把光刻机做成现在这样小到能运输的。
现在中国不装了，直接盖个大的”，再转抖音，知乎，七转八转，各种沸腾文，沸腾梗就应运而生了。
同样的流程还可以去看看隔壁华为怎么突破光刻机技术的。
当你在一个问题下看到绝大多数都在沸腾玩梗，但就是找不到确切的消息来源和相应的技术，参数佐证。
基本上就是假消息了。
即使有那么一两条真实新闻，也会被庞大的垃圾信息盖住。
绝大多数人就只能接收到垃圾回答了。
中国电子院也辟谣公告https://mp.weixin.qq.com/s/6O92gk_iguYURwGSfhhwxQ编辑于 2023-09-21 05:19・IP 属地四川赞同 2添加评论分享收藏喜欢收起。
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怂了
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如果一篇论文里的畅想肯定能在可预见的将来成为现实的话, 那么我们现在的手机应该可以保持现有功能的情况下, 待机两个月.当然了, 梦想还是要有的, 万一实现了呢?发布于 2023-09-22 00:56・IP 属地美国赞同 2添加评论分享收藏喜欢。
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Sarcasm
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光刻机确实是难于企及的“半导体工业皇冠上的明珠”，然而光刻机功能的实现于全产业链的世界工厂而言不过尔尔……谢文颂：科学家的论文凌驾于工程师的实践是破解“卡脖子”的大忌0 赞同 · 1 评论文章发布于 2023-09-15 23:34・IP 属地北京赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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谢文颂
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我劝诸位多关注关注这种脚踏实地的企业和工作发布于 2023-09-16 01:08・IP 属地四川赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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邵康杰
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持一种怀疑态度。
怀疑这是民科理论文章。
发布于 2023-09-16 01:53・IP 属地山西赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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深具世界眼光
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不知道，既然大家都看好，那就等结果呗？感觉这是一个大圈，在圈周围可以接驳不同精度的生产线，多高精度都能生产，而且功率大，产量大，那就好玩了。
如果有了第一套，那以中国的惯例，有优势的工业城市都得琢磨上一套。
比如有电力优势的，有材料供应链优势的，有市场优势的……而且会诞生出完全中国设计制造的新型大规模集成电路， 那不一定有什么奇葩功能出来，比如：用于AI卷积计算的超级芯片用于3D渲染的超级芯片，渲染一个大电影的海量动物毛发都能快速完成用于下棋的阿尔法熊猫，单机就能达到世界顶级集群的水平128位256位或者512位1024位，甚至更高次方的芯片，对应这种芯片会出新操作系统和编程软件，实现大数运算，如果有高位数的结构，中国象棋局面都可以只用一个数字来表示（目前位棋盘还只能用多个数来拼，因为红黑车马炮就各需要90位01数，就540位，超过了512，红黑共14个兵种，再加上静态估值等其他信息，需要大约1024位，目前计算机最大整数是Long型64位，超过了都是假的模拟结构，非物理真实）如果计算能力强，那南水北调西线或者铁路公路规划，也能快速根据地理信息算出不同情况下的最优路线。
编辑于 2023-09-16 01:47・IP 属地上海赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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超级大笨狼
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上次这么使劲奶还是韩国室温超导还是悠着点吧，有的玄学现象还是挺灵的。
有个回答奶得就恰到好处，『这个话题下充满着科幻小说家的作品。
』而科幻小说有的想法是成真了的【惊喜】编辑于 2023-09-16 03:21・IP 属地广东赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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仙云白
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把一个同步辐射加速器吹成光刻厂是吧？这玩意建造目的是为了高能物理实验什么时候成了光刻厂？是a股缺韭菜接盘了？还是缺经费了？发布于 2023-09-16 06:48・IP 属地广东赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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瞄YYYY
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如果真的能搞出来，当然是好事。
不过前几年疫苗，也是从所谓的全面领先，到最后成了笑话，所以还是看看再说。
发布于 2023-09-16 06:53・IP 属地江苏赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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思考的人
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这玩意儿造一个放在新疆，用戈壁太阳能发电和储能系统供电。
利用乌鲁木齐的大型机场出货，还能省去西电东输的损耗。
过几年就能看到茧房新闻里出现，抵制新疆农奴被强迫劳动采集的芯片了。
怎么看？很好看。
编辑于 2023-09-16 08:29・IP 属地上海赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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博涵-aerofloyd
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我就说一点，steady-state microbunching，也就是稳态微聚束，其技术源流实际上来自粒子加速器。
没错，就是杨振宁教授认为不要搞，知乎一帮人不懂装懂跟风的东西。
现在问题来了，如果国家随了某些人的主张，不在高能物理这种基础领域加大投入，现在的突破能从冒出来？空气吗？编辑于 2023-09-16 10:33・IP 属地北京赞同 15 条评论分享收藏喜欢。
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puyol - 1 个点赞 👍
谨慎看待，这玩意17年开始到现在才刚有点苗头，莫名其妙的被自媒体拉出来炒作，合理怀疑是要在股市搞事情，最开始甚至拿了另一个x射线项目的图片出来炒作，虽然我对中国光刻机项目的发展很有信心，但是大家最好还是不要盲目沸腾更不要盲目买股票发布于 2023-09-16 13:07・IP 属地山东赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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青灯独夜人
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我共说：要有光…… 于是……嗯，新版创世记…发布于 2023-09-16 18:16・IP 属地北京赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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jasonwells
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都这么看好，我就问一个问题。
现在ASML光刻机光源一秒钟放出数万次激光，击中锡液滴，每两次击中产生一次极紫外光，然后通过透镜系统打到双工桌台，才能支持芯片的光刻效率你们也打算让这种高能物理装置一秒钟运转数万次？？？发布于 2023-09-16 22:10・IP 属地浙江赞同 12 条评论分享收藏喜欢。
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小哈情报局 - 1 个点赞 👍
光刻厂的新闻传播几天了，我咋感觉没有什么光刻业内的人士来解答呀。
我来晃一晃半桶水。
光刻机的难点，不仅在于光源。
同步辐射技术诞生很多年了，能产生各种波段的光，学界产业界都熟知。
但是它没被选为造芯片的商用技术是有原因的。
现在商用的光刻机都是缩图曝光的。
首先要把集成电路图案做成掩膜版，然后在曝光过程中把掩膜版上的图形缩小投射在晶圆上。
EUV光刻机的波长是13.5nm，之所以能用于7nm以下节点（虽然不代表分辨率真的是7nm以下），就是因为光刻机能把光线进一步汇聚，类似照相机的镜头一样。
在EUV以前，和照相机一样用透镜汇聚光线；到EUV，因为短波长光线透射介质的损耗太大，改用反射镜汇聚是光线，光路环境还需要抽真空。
光刻机本身是工业技术在精度上的极致，可想而知，要造光刻机的镜片需要高超的技术。
另外一个难点工件台，就是托着晶圆跑的运动平台。
光刻机的“原料”是晶圆，一片晶圆上能做好多份芯片图形。
但光源和掩膜版就一份，怎么办呢？就需要工件台在完成一次曝光后挪动位置，让下一块晶圆区域接受曝光。
同样可以想象，光刻机对工件台也有极高的精度要求。
光源、镜片、工件台，是光刻机的三大核心技术。
但要实现极致的曝光精度，把这3项技术分别做好还不够，要把它们同时做到最好，此外还需要一系列的外围技术支撑。
所以，即使我们在同步辐射光源方面取得突破，离做出可用的光刻机也还很遥远。
而且，光刻机这么复杂的系统，某一环节如果大改，需要许多环节配合改造才能投入使用，无论从技术还是商用来看都有巨大的风险。
前面提到现在商用的光刻技术是缩图曝光的，那么能不能不缩图，1：1曝光，抛弃镜片呢？理论上可以，而且30年前就有人想到了，例如X射线光刻技术。
但是，这种技术首先会带来掩膜版成本上升（精度要求提高了），其次，可以说这种技术的每一个环节都与当时的光刻机技术不同，大家显然更愿意在现有技术路线上改造，毕竟半导体领域的技术革新每次都要消耗大量成本，而且等不了你把一堆难题一一攻关下来。
有句话是这么说的：在半导体领域，进化胜过革命。
所以，光刻厂这概念，现在把它看作一种实验室技术就行了，看不到投入产业实用的希望。
发布于 2023-09-16 23:32・IP 属地浙江赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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vnt40c - 1 个点赞 👍
看了一些资料。
第一：ssmb 是2010年提出的技术。
第二：清华2017年组建团队进行研究。
第三：2019年，清华和德国的研究机构合作，在柏林验证了ssmb的理论是成立的。
第四：在搞ssmb的实验装置。
目前来说，是一个前沿的技术研究。
euv 是其中一个预计的应用方向。
研究机构，目前还在“我们来想办法搞出需要的光来”的阶段。
搞出来后，如何利用，并且建立生产线，稳定生产芯片，尚还遥远。
这个光，理论上看确实可以，波长从0.3nm起。
很有可能是下一代芯片制造的解决方案。
发布于 2023-09-17 01:21・IP 属地湖北赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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金州铁匠
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其实“”光刻厂“”这个概念是我美爹的正经玩意儿，被你们拿到ssmb-EUV上给往我美爹脸上呼，太不讲武德了，耗子尾汁。
阿斯麦的LPP_euv光刻机以后根本不打算卖啦，要增加数值孔径要增加九倍（蔡司镜做到天文镜辣么大），这样子功率也能突破到25千瓦以上，干死你的死星大炮，烤熟八斤地瓜。
就是九个集装箱也装不下，阿斯麦得搬到美国 而已而已而已。
《芯片战争》要么你赢，要么我赢，美帝和中特只有一个赢家，谁能不为了三千月薪而玩命呐？编辑于 2023-09-17 11:16・IP 属地辽宁真诚赞赏，手留余香赞赏还没有人赞赏，快来当第一个赞赏的人吧！赞同 1添加评论分享收藏喜欢收起。
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李世民
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嘉立创拥有先进曝光刻蚀紫外固化技术，4mil线宽，免费打样，就为攒个人气。
爱好者，大学生获益非浅，做音响、整机器人，放火箭，提高了全民的技术水平。
以后芯片厂会不会免费样片啊，多余的紫外光闲着也是闲着，浪费了可惜。
编辑于 2023-09-17 13:49・IP 属地江苏赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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呓语
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太牛了！好比是：我要跟海上航母群对攻，需要在陆地上仿照航母的样子建阵地吗，不需要啊。
啥叫“第一性原理”？这就是第一性原理啊！光刻原理没变，但是直接换了赛道，实现降维打击。
牛逼！--------稳态微聚束(steady-state micro-bunching, SSMB)。
清华大学的综述文章在这：“稳态微聚束加速器光源”。
编辑于 2023-09-17 16:51・IP 属地上海赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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yimin
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本身同步辐射产生极紫外光是就已经很成熟的技术，不能用于光刻是因为功率不够所以此次的SSMB重点不是发光方式，而是“稳态维聚束”，这种方式给光源能量来了个超级加倍。
PS：清华这篇文章中有介绍，用于光刻的光源功率至少需要350W，ASML的光源极限是500W（说明其技术已经很极限了），SSMB理论上可以达到KW量级。
发布于 2023-09-17 20:23・IP 属地北京赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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非想非非想
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光刻机是商业设备，要讲究成本和良率，不像原子弹炸了就行，就能成为战略威吓。
如果一个设备，良率极低且和后道工艺不兼容，就算是解决了光刻又有啥意义，能满足90%芯片需求的90nm机台是有国产化的。
另外就算方案可行良率可接受，理论到工程化至少三年，工艺稳定还得三年。
发布于 2023-09-18 00:49・IP 属地上海赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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拉格朗日的12345
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能讨论不被全网删就说明这个是明牌。
这个明牌很有可能最后不是解决方案，而是干别的用的。
但是这个明牌是非常好。
1，它是纯粹的高科技，而不是“社会工程”与科技的混合物，堂堂正正，扬我国威。
搞成不搞成，都能激发民心士气。
2，如果它吸引了美国的注意力，那么就掩护了其他路线。
3，哪怕它最后没有达到预期效果，也培养了一大批基础科学人才，拉动一大批产业。
我理解这件事和自媒体的宣传有偏差，但是我乐见国家就这么打牌，确实非常有政治智慧。
就我国的目前的经济形势和国际态势来言，敲奇观真的是第二好的投资方向了，尤其是科技奇观。
第一好的投资方向是造军舰/军机。
编辑于 2023-09-18 11:24・IP 属地北京赞同 1添加评论分享收藏喜欢。
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luckyhawk