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对于我国目前不造光刻机了,造光刻厂,大家怎么看?

感觉怪怪的
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ssmb和光刻机的关系很大,渊源很深。

在1990年,杨振宁就独具慧眼,建议中国研制X射线自由电子激光器。现如今,世界上第一座工作在20—100nm范围的全相干自由电子激光装置已经投入使用。

杨振宁先生在石溪分校的博士研究生研究生赵午教授,早在2010年就首次提出了SSMB理论概念,并以论文形式发表在了美国顶级期刊《物理评论快报》上。这是一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,SSMB)

这项理论被视为超越EUV光刻机技术和专利限制,并且极富未来前景的设计。按照这样的方式,SSMB搞定EUV还是顺手为之,以后的作用更大。其实,在2016年,大型对撞机论战最高峰时期,赵午教授就被杨振宁先生邀请,来到清华大学担任了客座教授,那时候他们就敏锐地研究出:EUV光刻机有短板,中国需要超越,根本不能只走跟随路线。必须确保多线并行研制

杨振宁自2017年起向清华多次推荐稳态徽聚束团队的建立与研发,并且与赵午教授取得了合作。在2021年2月,清华大学工程物理系与德国的科研小组的 SSMB的首个原理性验证实现。而著名的科技刊物《Nature》 杂志对此点评称:SSMB光源未来有希望运用EUV光刻、角分辨光子能谱等领域。”

什么意思呢?中国利用加速器的原理,解决了EUV光源问题,并且解决了EUV光刻机未来十年遇到的瓶颈限制

要知道,2019年完成了第一期试验时,科学界还在继续讨论要不要建造大型粒子对撞机。

而2021年完成第二期试验的时候,华为已经开始了更加深入的芯片产业链进程。两者关系不大,但是却又关联很深。

可以肯定的是,2019年5月这个时间节点上,杨振宁先生的布局起到决心性胜利的一棋。

受到杨振宁先生指导和影响的赵午,以及清华大学的团队最终推出了SSMB方案,实际上还是只是冰山一角。

发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》论文的唐传祥教授指出,EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。

发布于 2023-09-18 16:28・IP 属地北京
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老韩生存狂
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