对于我国目前不造光刻机了，造光刻厂，大家怎么看?

本身同步辐射产生极紫外光是就已经很成熟的技术，不能用于光刻是因为功率不够

所以此次的SSMB重点不是发光方式，而是“稳态维聚束”，这种方式给光源能量来了个超级加倍。

PS：清华这篇文章中有介绍，用于光刻的光源功率至少需要350W，ASML的光源极限是500W（说明其技术已经很极限了），SSMB理论上可以达到KW量级。