光刻机其实是一整套完整的纳米工业
导语：最近清华大学SSMB同步辐射EUV光源的热度相当高，很多人都以为中国已经解决了光刻机中最核心的光源技术，就可以弯道超车，打脸ASML。那么事实真的如此吗？
一、2年前发表的SSMB论文突然火了
2021年2月25日，清华大学工程物理系的唐传祥教授的研究组与来自德国亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)，以及德国联邦物理技术研究院（PTB）的合作团队在《自然》（Nature）上发表了题为“稳态微聚束原理的实验演示”的研究论文。报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束” （Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。