另辟蹊径，在另外一个赛道上碾压！
所谓的光刻厂指的是SSMB-EUV。
SSMB翻译过来叫稳态微聚束。
现在花一些篇幅来讲SSMB。
这个事情得从杨振宁的学生赵午说起。
大家知道，杨振宁现在在清华养老。因此赵午与清华的关系密切，他本人也是清华与台湾清华的客座教授。
赵午，台湾中央研究院院士。
1974年在纽约大学石溪分校获得物理学博士学位，导师为杨振宁。
1974-1984，就职于美国SLAC国家实验室。
1984-1993，任超级超导对撞机（当年预算82亿美元）副总经理、加速器总体负责人。
1989-1993，任德克萨斯大学奥斯汀分校教授，1994-2019年，斯坦福大学教授。
现为清华大学客座教授。曾获加速器领域一系列最高奖项包括USPAS Achievement Prize, Wiederoe Prize, Robert Wilson Prize等。
上面讲到了对撞机，大家都知道，杨振宁与赵午都是反对花几百亿乃至几千亿搞对撞机。
粒子对撞之前要对它们进行加速。
因此需要一个加速器，如何加速呢，就是在管道上加磁铁，磁场可以对粒子进行加速。
光就是一种电磁波，变化的电场能产生电磁波。
而带电粒子运动变化的时候，会产生光。这个是很早发现的。
在2010年的时候赵午提出了SSMB-EUV的概念。
不过当时没有人理他。
于是他不停讲他这个设想。
慢慢的他这个设想越来越多人接受了。
到了2018年，美国开始制裁华为后，他这个设想越来越多的人接受了。
于是他们很快行动起来。
上面是2021年发表的论文。
论文展示的实验，由清华大学的唐传祥与赵午发起，清华大学、亥姆霍兹柏林材料和能源中心以及德国联邦物理技术研究院（PTB）合作，在PTB的计量光源上完成。唐传祥研究组负责理论分析、物理设计及激光系统开发，并与合作单位进行实验。（中国当时没有条件搞 这个实验，于是经常有人开玩笑的说是蹭了德国的设备）
随后，清华SSMB研究组已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书，申报“十四五”国家重大科技基础设施。
因为有验证机的实验，这个建议很快批准了。
听过几次赵午老师的报告，而且网上有相关的视频。
总结起来，光刻厂即清华方案SSMB的优势如下：
一、提升功率的限制较小，据称更容易达到1000W以上，LPP-EUV光源功率目前约400W，但达到1000W也只是时间问题。
二、光束质量高：发散角小，对聚焦要求低；能散小（频谱窄），对过滤要求低。LPP-EUV是热辐射，聚焦和过滤需要复杂的光学系统，镜面数量很多。SSMB-EUV则无需太多镜面。镜面对13.5nm EUV的反射率仅有70%，镜面越多、损耗越大，有效功率越小。（注：用于光刻的EUV光源无论是LPP还是SSMB，波长目前只能是13.5nm，别的波长没有合适的材料制作反射镜，再往下是6nm的Blue-X。SSMB多条光束线只是供多台光刻机使用，短期内并不会同时提供多种波长。）综合考虑这两点，功率不是从400W变成1000W，而是从10W变成500W。
三、光学部分制造难度低、成本低：SSMB-EUV不仅所需的镜面数量少，而且镜面尺寸也小（因为光源发散角小，无需庞大的收集镜），还没有LPP-EUV的等离子体杂质污染镜面。也就是说，如果SSMB-EUV光源投入使用，不仅能解决光源问题，还能大大降低光学部分的难度。
相对于ASML的LPP-EUV其劣势就是占地方。
比如需要周长超过48米（貌似也不大）甚至几百米的加速管道。
另外这个光刻厂的成本很划算。肯定不超过100亿rmb。它的投资没有大型对撞机那么多。