我在一个回答下面随口讨论了几句，最近两天不知道怎么了，一堆人啥也不懂，过来找茬。
先说观点，是否真的可以落地那是另一回事。能不能通过建光刻厂来解决目前光刻机遇到的卡脖子问题，目前并没有确定的答案。工程化和理论之间确实差着十万八千里。
但是，一堆人在批评说这根本不可能，那咱就要掰扯几句了。在理论上，解决产生足够强度的特定带宽的极紫外激光光源，确实是可能的。如果真能落地的话，这个方案确实是需要建设光刻厂来解决。
相关的论文是唐传祥教授2022年发表在物理学报上的《稳态微聚束加速器光源》一文。
大佬的论文只能拜读，但大体还是知道人家在说什么。
简单说，光刻厂这个概念在理论上是有一定道理的。