为什么之前没想到建光刻厂这样的办法？

本质上就是自由电子激光嘛，的确是一种产生高亮度euv乃至x射线的办法。但是体积大，能耗高，占地面积大，建设更新升级困难。对于fab厂来说难以部署到现有产线内。