主要是你之前不知道…这个路线三年前在知乎都被讨论烂了，那放在业内起码10年前就被讨论烂了…那些激光专家难道不知道加速器能产生辐射？
我记得讨论国产EUV光源的一篇论文是2011年发表的，当时好像就已经能做到了70瓦还是150瓦的功率来着？当然那篇文章主要探讨的是dpp和lpp，毕竟这种光源相对来讲比较便宜，建个加速器几十亿没了。
所以并不是那个时候不知道，而是那个时候局面不值得我们投入几十个亿进去专门造一个光源。而且那时候你造了EUV给谁用啊？中芯国际还28纳米爬着呢…台积电7nm都量产了中芯国际28还没整利索呢，进度加快是梁孟松入职之后的事儿了…
所以是后来局面变化大，再加上进展超过预计的快，才导致今天又突然需要半路整出来一个新路线弯道超车的…正常情况下，按当初的规划中国应该是2025年造出来ssa800，2030年才会有euv…
这不是情况不太正常吗？我个人认为主要是没有预料到进展会这么快。
发布于 2023-09-17 04:06・IP 属地四川