也许原理上行得通,但几乎永远无法被产业采用。
作为一个在芯片量产线上熬了很多年的工程师,看到这个消息的第一反应就是不靠谱。因为工艺成本与量产可行性都是这个方案无法逾越的鸿沟。
一个只占fab一小部分面积的光刻黄光间,变成了一个占地面积巨大的光刻厂。
潜台词就是光刻的成本极大地增加了。
比如电费,实际上,大家所说的小型化的ASML的EUV光刻机,就已经是惊人的电老虎了,公开的报道在网上一搜一大把:
EUV光刻机日耗电3万度 台积电为电费上涨发愁:一年多花26亿而光刻机大型化的耗电只会更高,甚至高到商用芯片难以承受的程度。外行们鼓吹的“跟死星启动一样”,实际上并不是什么可值得吹嘘的地方,反而是它的致命弱点。
这还没算上“光刻厂”建造成本、用地成本,因为看护光源模块的人力成本。
再说量产可行性。
芯片量产线最大忌讳之一:单机台(业内称为single tool,翻译过来好别扭啊)。
做过半导体工艺的人都知道,哪一道工艺是单机台,那这个厂总体量产的瓶颈往往就是由这个机台所决定的(但像炉管这种单机台吞吐量能