国内现在在EUV光源上又不止在走一条路...现在做EUV光源的有走自由电子路线的（九院十所，计划2021开工2026完工，目标投资41亿实现10nm节点光刻演示验证，建立首台千瓦极紫外光刻工程测试样机），有走同步辐射路线的（SSMB-EUV是最出名的，但不代表只有SSMB-EUV，张院士带的组貌似现在在SR-EUV上走的更远一些）还有走LPP-EUV路线的，但就算是走LPP-EUV路线的也有不同的方案，有的打算走多束光纤激光合束驱动的（HUST-GRIN）还有打算继续二氧化碳激光器怼上去的（CIOMP与上海光机所强场激光国家重点实验室？）
但是EUV光刻又不是只有光源这一个问题，除此之外其还需要反射式的投影物镜系统（这个是长光集智负责产业化，相关样机已经于2021-2022通过验收）、多轴高速真空激光干涉仪（双工件台的加速度会达到6-7g，最高速度会大于1米/秒，哈工大胡组那个不能使用高速大量程场景还需要继续研发才能满足要求）真空磁悬浮双工件台（真空环境下散热条件会更加恶劣，且套刻精度要求也会更高）这些东西只能说大部分处于“有个样机”的阶段，目前能得知的也就是长光集智在建设生产厂房以及需要在2026（最多延迟两年）交付某首台套重大装备。
现在国内的EUV可以说完全充满着谜团，目前我们能得知的只有各个子系统的供应商进展，而总体集成商的进度完全是处于一片迷雾中。
如果，中国这边EUV光源的功率攀升速度能与201X年的Cymer一致，那么最乐观情况下现在契丹可以组出来一台基于1XX瓦LPP-EUV光源的，采用长春光机所六镜式反射投影光刻物镜实验性质六镜式光刻系统，技术水平相当于MET或者EUV1的极紫外光刻设备。
发布于 2023-09-19 16:23・IP 属地湖南