光刻机是商业设备,要讲究成本和良率,不像原子弹炸了就行,就能成为战略威吓。如果一个设备,良率极低且和后道工艺不兼容,就算是解决了光刻又有啥意义,能满足90%芯片需求的90nm机台是有国产化的。另外就算方案可行良率可接受,理论到工程化至少三年,工艺稳定还得三年。
发布于 2023-09-18 00:49・IP 属地上海
光刻机是商业设备,要讲究成本和良率,不像原子弹炸了就行,就能成为战略威吓。如果一个设备,良率极低且和后道工艺不兼容,就算是解决了光刻又有啥意义,能满足90%芯片需求的90nm机台是有国产化的。另外就算方案可行良率可接受,理论到工程化至少三年,工艺稳定还得三年。