emm，就算用同步辐射光源替换了等离子光源，那也只是解决了EUV光源问题啊。后续围绕着这个光源打造光刻机的难度看上去比自研EUV光刻机更甚，毕竟连个可参考借鉴的方案都没了…… 发布于 2023-09-17 00:15・IP 属地上海 赞同添加评论分享 收藏喜欢
