说起SSMB这得从在清华养老的杨振宁说起。
杨振宁当时有一个学生叫赵午。
赵午教授现在时常去做报告。
赵午，台湾中央研究院院士。
1974年在纽约大学石溪分校获得物理学博士学位，导师为杨振宁。
1974-1984，就职于美国SLAC国家实验室。
1984-1993，任超级超导对撞机（当年预算82亿美元）副总经理、加速器总体负责人。
1989-1993，任德克萨斯大学奥斯汀分校教授，1994-2019年，斯坦福大学教授。
现为清华大学客座教授。曾获加速器领域一系列最高奖项包括USPAS Achievement Prize, Wiederoe Prize, Robert Wilson Prize等。
如前不久到武汉作报告，报告的标题是：一种用加速器作为光源的构想和目前的一些努力
杨振宁在赵午读博士的时候，专门叫他去听加速器相关的课。
赵午同杨振宁一样反对建大型对撞机。对撞机之前就是要先对粒子进行加速。
E=h\nu
上面这个公式很常见，波长越短，能量越大。
光就是一种电磁波。
在2010年的时候，赵午就提出了稳态微聚束(steady-state micro-bunching,SSMB)新型加速器光源的概念。
当年没有人理他。
于是他后来作报告的时候，每次都讲，这个事。
由于赵午是清华的客座教授（他本人好像也是台湾清华的）。
加之杨振宁在清华养老。
自然而然的就开始搞起了验证机的工作。
上面是2021年发表的论文。
本次论文展示的实验，由唐传祥与赵午发起，清华大学、亥姆霍兹柏林材料和能源中心以及德国联邦物理技术研究院（PTB）合作，在PTB的计量光源上完成。唐传祥研究组负责理论分析、物理设计及激光系统开发，并与合作单位进行实验。
随后，清华SSMB研究组已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书，申报“十四五”国家重大科技基础设施。
因为有验证机的实验，这个建议很快批准了。
基于SSMB原理，能产生高功率、高重频的相干光，波长可涵盖从太赫兹到极紫外波段。
上面一句话说清楚了SSMB的优势。
其中功率可以无限高；波长范围大，且可调，你想输出什么波长的光都可以。
缺点就是占地方。
上面SSMB原理验证实验示意图，储存环周长为48米。
当然地皮不是事。
2023年3月21日，该设备建设选址，已落户雄安新区。
光刻机四大核心部件。
光源系统、物镜系统、EDA工程、双工件台系统。
SSMB可以说从原理与验证机上解决了光源系统的这个问题。
其它三个方面都实现了突破。
当然，要把上面四个方面整合起来，还有很长的路要走。
毕竟这是一种新的光源系统，与传统的LPP-EUV完全不同。
里面没有用到水的折射等。
作为参考的话，从原理验证机到工业实现，需要5年甚至几十年都很正常。
当然乐观估计的话，3年内实现量产也是可能的。也就是2026年实现生产。
毕竟四大核心部件，包括组建都实现了工业化的运用。
比如EDA工程 华为就实现了，华为的麒麟9000S就是自己开发的软件。
双工件台国产的已经可以替代。
这两个都是有具体运用的了。
相对比较弱的是光源系统、物镜系统。