简单来说就是下一代的光刻机技术,优点是下一代,所以潜力,成本什么的都比asml的强。 缺点也是下一代,所以技术成熟度不够还需要时间才能搞出来成品乃至于产业化 发布于 2023-09-16 18:15・IP 属地浙江 赞同添加评论分享 收藏喜欢