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对于我国目前不造光刻机了,造光刻厂,大家怎么看?

感觉怪怪的
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首先最近这种不正常的沸腾我也不知道是什么原因,但是我有三个基本观点:

  1. ssmb理论可行,这个知乎三年前就已经论述的差不多了
  2. 最终先落地的euv未必就是这个方案
  3. 小孩儿才做选择,大人我全都要

一方面ssmb即使顺利也只能解决光源的问题,他解决不了镜片和工件台还有整个系统的问题。

另一方面这个技术路线虽然理论可行,而且可扩展性比较强,但实际上未必好用,而且也不知道到时候会不会出别的幺蛾子。

传统的euv我们也在做,而且做了应该有10多年了吧。

发布于 2023-09-16 16:29・IP 属地四川
Eidosper
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