首先最近这种不正常的沸腾我也不知道是什么原因,但是我有三个基本观点:
- ssmb理论可行,这个知乎三年前就已经论述的差不多了
- 最终先落地的euv未必就是这个方案
- 小孩儿才做选择,大人我全都要
一方面ssmb即使顺利也只能解决光源的问题,他解决不了镜片和工件台还有整个系统的问题。
另一方面这个技术路线虽然理论可行,而且可扩展性比较强,但实际上未必好用,而且也不知道到时候会不会出别的幺蛾子。
传统的euv我们也在做,而且做了应该有10多年了吧。
发布于 2023-09-16 16:29・IP 属地四川