网上有几个观念要澄清一下:
1.ssmb的规模并不大,周长100-150米,而一般学校操场的周长是200米,ssmb建小一点就半圈操场而已,不是网上传的那样的庞然巨物。
2.ssmb不是天价,造价是数亿到十亿,网上什么上百亿太夸张了。
3.ssmb的euv光很纯净,这点跟网上说的各种光混在一起的说法完全相反,纯净是ssmb一个非常重要的优势。因为它足够纯净,所以输入的所有电能都用来产生euv光,而不是混杂其他光,所以需要的功率低,能把规模做得小;又因为纯净不含杂光,不需要多次过滤(asml的光源要反射11次,每次损失30%能量;ssmb只要反射3次),从而大大减小了过滤中的损耗问题。
4.ssmb出光效率可能不像网传那么低。网上有人说转换效率只有0.05%,100w输入只有0.05w输出,目前并没有可靠信源证实这一点。清华说输出有1000w,如果转化率这么低的话,输入的能量是天文数字,何况造价才几个亿、规模这么小的设施可受不住这么大的能量。
而且ssmb的发明人说ssmb区别于普通同步辐射光源的优势是效率高非常非常多,不能用传统的同步辐射光源推断。
编辑于 2023-09-16 14:31・IP 属地江苏