看过某FAB一版tool list，工艺节点不高，国产主流三七开，且国产设备最多的module是Etch，其余是WET、MMT、DIFF各有一些，Litho和TF连国产的影子都没看到。
所以说明明看起来Etch这边替代做的更多，天天盯着个光刻机尬吹，敢情是只知道光刻呗？
I-line和KrF还没替换明白现在直接上immersion了，主打一个只允许弯道超车一步到位？
当然，进LAB也能叫替代的话当我没说
发布于 2023-07-26 08:56・IP 属地广东
看过某FAB一版tool list，工艺节点不高，国产主流三七开，且国产设备最多的module是Etch，其余是WET、MMT、DIFF各有一些，Litho和TF连国产的影子都没看到。
所以说明明看起来Etch这边替代做的更多，天天盯着个光刻机尬吹，敢情是只知道光刻呗？
I-line和KrF还没替换明白现在直接上immersion了，主打一个只允许弯道超车一步到位？
当然，进LAB也能叫替代的话当我没说