应该无法解决。
一方面asml无力对抗美国的限制，新一代exe光刻机都是优先供货英特尔的，所以asml不大可能直接违抗美国。
之前asml尝试把1980di卡在政府限制之外，随着美国制裁升级到“所有浸润式光刻机”，这种投机取巧也被卡死了。
另一方面放弃专利也绝无可能，那是asml安身立命之本。古代的时候中美合作在硅谷整过一个光刻机厂，就被asml拿专利搞死了。
至于回购，可能性虽然不能说没有，但也近于为0，毕竟asml闲得蛋疼自己找不痛快？除非中国承诺说等国产光刻机出来了给asml留一口汤，不然asml不会干这种费力不讨好的事的，毕竟光刻机你可以自己转卖。
最可能的结果是三种：
一种情况是中国这边硬着头皮侵权维护，asml起诉，然后法院审理总得有个一年半载，最后判赔偿asml一个合理的数字并要求停止侵权。
第二种是asml回购，你好我好大家都好，但asml自己要麻烦一些，而且现金流会承压。
第三种是asml置之不理，长存的设备就最后成了废铁/低价转让给国外fab，这种可能性我认为最大。
至于第一种可能性取决于有没有国产光刻机/国产替代的速度，如果够快就不需要，否则是有可能的；第三种可能性最大；第二种可能性也有不过我觉得美国人应该会从中作梗…
这次美国卡到65nm就是对中国半导体的大考，看看你28nm到底能不能全国产。能的话，很快就能推到全国产的7nm，并且可以先用国产材料+美国设备造一波7nm。
但目前唯一一个公开的“成套国产12寸65nm”也就燕东微这个，说是已经量产了，但这个“成套”是覆盖多少环节还有待考察。不过考虑到燕东微算是国内二线甚至三线的fab，那国内一线的中芯华虹长存长鑫应该是有更高节点的国产化尝试，只不过没有任何公开信息罢了。
哦对了，据说福建晋华也有一些动静，按理说凉透了又有动静那应该是国产设备做起来了？
也许国内一线fab还可以加一个华为？反正众说纷纭的也没什么准信。
总的来说信息差大的很，各路说法差距极大，最终还得看产品产出。但是也许并不遥远，毕竟之前有神秘的麒麟710ah，还有奇怪的hi1152v110(v100就已经是20年35周了，v110这应该是制裁落地以后的东西了)…
所以很多东西的进展可能真的就是业内人士也不一定清楚，听说了也可能因为“绝对不可能”直接当谣言过滤了。
真实进展也许只有极少数人知道，但无论如何最终还得看产品，毕竟虚空的7nm就算有那和老百姓也没啥关系。