有些玻璃,看上去和我们平时看到的玻璃形态、外观差不多,却是不折不扣的隐形“高富帅”,比如用于制造光刻机核心部件的“特种紫外高透玻璃”。中国兵器成都光明研发人员突破了超低杂质控制技术、超高透过率控制技术等数项关键核心量产技术,在国内首先开发出一款拥有自主知识产权的该类型玻璃,目前已在国产先进365纳米光刻机、DMD激光直读式365nm曝光机、紫外耦合透镜等半导体领域得到应用。
在智能制造领域,光刻机是芯片制造不可缺少的设备。其中365纳米光刻机的核心是由特种紫外高透玻璃制造的大口径超精密镜头组,普通玻璃在365纳米波段的透过率低,且在超高功率的紫外光照射下透过率会大幅度降低。特种和紫外高透玻璃通过特殊的成分设计使之具备超强的抗紫外辐照能力,同时,为了实现光刻机镜头组的超精密成像,这种玻璃还必须同时具备超高的紫外透过率,超高的折射率一致性,以及超高的光学均匀性等光学玻璃顶尖技术要求。
发布于 2022-05-31 17:18・IP 属地重庆